pecvd班组的维护流程.docx

1、编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第9页 共9页班组的维护流程1） 维护准备 1】 提前准备维护工具 石英管的准备815根 （单晶需15根，2根备用 多晶需9根，1根备用） 2】 石英管的挑选注意：口径的大小 两端口径不要有裂痕 整根不能有裂痕 碰痕。无细微裂纹和气泡3】4】 一对轴套的卡孔注意能与扭力扳手吻合，需要时要用电钻处理卡孔 铝杯罩外部面（绿“O”圈面）注意不能有大的划痕 项圈5】 “O”圈的选用一注意形状 不变形 不扭曲；二“O”圈用酒精清洗，观察“O”圈是否有裂痕 毛刺，尤其绿“O”圈。6】 梅花圈分薄和厚型，选用注意形状 厚度 大小 其作用是支撑

2、铜导管，调节安装石英管的长度。7】 铜导管注意两者的吻合，孔位的适宜8】 铜制天线是和铜导管配位使用，在维护拆除石英管时，需要拔出铜制天线。组装的一端图【下】细分图【下】带有环形封口的铝制罩帽1）图：将石英管挤压进准备好的铝质罩帽2） 将铜质导管插入并定位于聚四氟乙烯梅花圈的中心位置（梅花圈对于确保铜质内导管在石英管内的中央位置是十分必要的）图：完整的石英管的剖面图3） 将卡口锁定装置滑入石英管图：准备好的微波传送系统4） 将石英管的另一端推入准备好的另一个铝制的罩帽中，同时将铜质内导管插入并定位于另外一个聚四氟乙烯梅花圈的中心位置图2：完整的微波传送系统拆卸石英管的过程：1. 先将微波连接器

3、一端的铜质天线向外拔出80mm后即可挪开该天线（见右图）图：在工作位置和维护位置配有铜质天线的小型微波发射头2.用大力钳将石英管掐碎，碎断距离大约15CM，一手掌的距离， （注意别伤到铜导管）碎断的距离便于拆卸石英管。【注意别让碎玻璃伤到手】3.轴套的松紧，顺时针是上紧，逆时针方向为松懈工艺反应仓仓壁上的微波发射头法兰接口（1） 4.法兰：石英管连接处，注意观察外部面的平整度，不得有任何划痕。拆卸掉石英管时，需要用蘸有酒精的无尘布进行阻挡或用垫板进行隔离（2） 使用真空吸尘器清洗一侧的表面法兰盘并用蘸有酒精的无尘布封表面（注意！卡口锁定连接器和法兰盘之间的尺寸咬合公差只有0.10.2mm。）如

4、果颗粒从卡口锁定架或横向工艺特气罩上脱落将会导致擦伤和损伤卡口锁定装置和法兰盘现举用下镀膜的工艺腔室为例：沉积罩或特气槽的认识图：关闭的氨气吹淋喷头孔（左图） 部分关闭的硅烷气体吹淋喷头孔（右图）（3） 使用金属线刷或砂纸清洗严重污染的不能拆卸的部件，使用真空吸尘器清除过程中产生的灰尘。（4） 检查气体吹淋口所有的气孔（1mm直径）是否通畅，如果有堵塞，使用1mm的钻孔机或针头刺透气孔，从外向内用压缩气体将气体吹淋头孔内部的灰尘吹出。腔室上装石英管示意图：图1：完整的等离子体发射源（左图）和没有横向沉积罩的等离子体发射源（右图）图2：设备维护位置时的卡口锁定机械装置图3：卡口锁定机械装置大盖的清洁工作：用蘸有酒精的无尘布擦拭工艺腔室的盖内壁，主要与门上大“O”圈接触的地方，接下来擦拭大“O”圈，擦拭是顺同一方向进行，防止划痕O圈。第 9 页 共 9 页