1、生成的膜平均厚度及其标准偏差分别为367nm和9.38nm。其工艺条件为：升华温度为130，热解温度为660和75sccm的流速。3.3等离子体聚对二甲苯的制备 张治红11等采用等离子聚合方法可制备低介电常数聚合物聚对二甲苯，即使输入能量极低(例如SW)，聚合物的沉积速率也比较高。以N2作为载气，在用Ar等离子预处理过的多孔SILK表面沉积聚对二甲苯，能形成带有芳香环的薄层，可提高铜与SILK的结合强度。即使在N2保护下的真空炉中300退火3h，聚对二甲苯接枝层也能有效地阻止铜向SILK中扩散。考察了聚对二甲苯作为铜在51一SILK基体上阻隔层的应用可能性.在特定辉光射频条件下，ppPX膜表面
2、的苯环能够保留。4.聚对二甲苯涂层的特性聚对二甲苯是通过活性单体气相沉积聚合而制备的,单体的气相沉积与膜的形成几乎同时进行,不存在液相过渡态。因在室温下成膜,这样就使得被涂件免受表面张力引起的变形危害,并且聚合物膜能在固体表面(包括锐角、裂隙和内孔表面)均匀地形成，而且极薄又无针孔,具有优良的隔绝性、物理机械性、光学性、电绝缘性、生物相容性，以及防霉、防腐、防盐雾等多种优异特性。5.聚对二甲苯的应用 Parylene涂层在电子领域应用极其广泛,主要用于电路板、半导体器件、集成电路、混合微电路、电容器、微型电机和铁氧体；在光学和光电领域主要用于光学光电器件、复印技术光电感光体、激光存储和记录器件
3、；在生物医学领域用于人工假体、埋入式器件、血液分析器、心脏衰竭的左心室辅助设备7等;在航空航天领域主要用在航空航天器上，用于绝缘保护。在其它领域Parylene涂层还可以用于对一些固体活性颗粒(如固体燃料、金属锂、氢化锂、磁体12等)进行抱覆保护,防止潮解。一些化工设备上的器件用Parylene涂层进行保护,以防止腐蚀,提高耐磨性。而且用聚对二甲苯可将档案、图书整本加固保护而不必将它拆开，且每页都能有效保护14，但聚对二甲苯膜并不能有效的防止紫外光对CD-R 光盘的老化作用15。5.1防潮 刘枫16等将抛光石英玻璃或KDP晶体置于成膜室中，然后使原料对二甲苯二聚物经真空气相沉积，通过提拉镀膜法
4、在聚对二甲苯薄膜表面镀制SiO2增透膜，得到的双层膜可应用于KDP晶体的增透保护膜。，该工艺能最大程度地避免成膜过程中外界环境因素对KDP类晶体的不利影响，并对大口径和不规则形状的KDP晶体能完全包覆。 C型聚对二甲苯薄膜和SiO2增透膜能够较好地结合。通过调节SiO2膜的提拉速度，可使镀有聚对二甲苯薄膜的KDP晶体在特定波长增透。聚对二甲苯薄膜对KDP晶体能起良好的保护作用，延长KDP晶体的使用寿命。，同时随着薄膜厚度的增加，防潮性能也随之增强175.2生物医用5.2。1微型电极阵列 Weihong Yu18等用Ti/Bo微型电极阵列做的聚对二甲苯基底具有良好的生物相容性，其表现在研究过程中
5、，植入传感器后周围组织和纤维没有变化。表明该材料在未来人工视网膜研究使用方面极具优势。5.2.2选择性分离细胞的集成器件 无论是使用温敏聚合物还是电吸附方法，均有不能分离细胞的局限性。而导电分离时温度传热整个导体而不能加热某一局部，当温度或电势变化时，所有的细胞将从表面脱离出来。因此，Juan Wang19等开发了一集成设备：先孤立细胞，然后通过低电位分离细胞。为了以便细胞的附着与剥落，通过ECMs（含GRD大分子）法改性电极阵列的金属表面。同时用聚L型赖氨酸聚亚甲基乙二醇（PLL-PEG）去改性arylene-C薄膜增大细胞粘附能力。 其设计的电极阵列的基底由金属电极与具绝缘性能的Paryl
6、ene-C薄膜两部分组成。先将电极阵列浸泡在1毫米的PLL-PEG与低聚肽CCRRGDWLC的混合溶液中一夜，在这个过程中，低聚肽（CCRRGDWLC）末端的半胱氨酸通过金硫键从而与电极阵列的金属表面相连20，位于中间的GRD暴露于溶液上。同时，通过等离子表面处理Parylene-C薄膜使其带负电荷，聚L型赖氨酸（PLL）带正电荷，从而PLL-PEG吸附在arylene-C薄膜上。5.2.3网状亚微米的parylene-C 膜尽管parylene-C 通常被认为是很好的屏障材料，广泛被用于保护层，但是它的厚度减少到亚微米范围内时，它的分子量为大分子。Bo Lu21等第一次将亚微米结构的pary
7、lene-C 膜作为治疗年龄性黄斑变性（AMD)病人的可行性实验。证明MSPM（0.3m）是能够支持视网膜色素上皮细胞的生长、单层上皮细胞的形态和微细绒毛的发展。由于亚微米级的parylene-C膜本身缺乏足够的机械强度，所以制作了亚微米网状结构。parylene-C 在经六甲基二硅烷（HMDS)处理的硅片上进行沉积。蒸发器和炉内温度分别设定为180和690，沉积腔内的压力是35mTorr。用六甲基二硅烷（HMDS)涂覆Si片是因为它能减少而与Si之间的粘附力，Al作为对的蚀刻掩模沉积在上面。接着光刻蚀，湿法刻蚀Al，反应离子刻蚀（RIE）氧离子，parylene-C 膜形成网状框架。反应离子
8、刻蚀后，用稀释的氢氟酸溶液清理小孔里面的残留物亚微米的膜沉积在筛孔网架上。第二次光刻以涵盖整个光阻器械。最后进行膜的剥落和翻转。parylene-C 膜的两侧富有低能量的氧气等离子体以便于细胞培养。5.3传感器 聚对二甲苯在传感器领域中的应用,除了作绝缘介质外,更多是用作防护材料。聚对二甲苯能耐酸、碱和有机溶剂,对水汽和盐雾等恶劣环境有极好的阻隔防护能力。用极薄的聚对二甲苯作防护涂层,可以在几乎不影响传感器功能的情况下,为传感器提供良好的防护。5.3.1三维纳米间隙的制作李兴辉，Selvapraba Selvarasah22等利用普通紫外光刻、刻蚀和剥离技术，在聚对二甲苯柔性基底上制作出了三维
9、纳米间隙结构，并对该纳米间隙进行了材料互连实验。这种三维纳米间隙结构，简便易行，成本低廉，适于批量制作，能保证很好的质量和较好的重复性，并且和很多学科材料应用兼容，尤其适用于柔性电子器件、生物医学和纳米材料科学应用。利用纳米间隙就是这样一种基本工艺：通过微操控手段，可以将各种纳米材料甚至分子材料有序加载于微间隙之间，从间隙两端加载信号，可以研究材料本身特性或是实现特定的功能。 制作工艺：首先将聚对二甲苯二聚体颗粒在下气体化；然后将该气体进一步加热至，使之成为单聚体；单聚体分子进入室温下（）的反应室，遇冷在片表面沉积，成为聚合物薄膜。接下来对薄膜表面要进行一次等离子体处理，将聚对二甲苯表面轻微粗
10、糙化，增强其对金属薄膜的结合能力。在处理过的聚对二甲苯薄膜上，进行一次标准的光刻剥离工艺，在基底薄膜上形成第一层 方块形电极图形。的使用，也是为增强金属电极与聚合物基底间的结合强度。 紧接着进行第二次过程，制作聚对二甲苯的绝缘间隙层。为增强绝缘层的黏附力，在沉积之前使用硅烷溶液或六甲基二硅胺烷（）溶液处理基片。接下来是第二次等离子体处理，它的作用有两个：一是对膜层的上表面进行粗糙化处理；二是进行膜层减薄，使绝缘层厚度达到制作纳米间隙的需求，本研究控制在 左右。处理之后，进行第二次标准光刻剥离工艺，在绝缘薄膜上形成第二层 电极图形。上电极引线部分为 方形，和下电极并不重叠；和下电极重合的部分是从
11、引线方块延伸出来的宽度为顶端为圆弧的长方型电极。最后用等离子体刻蚀工艺，去除上电极以外的所有裸露的聚对二甲苯薄膜，从而在两电极重叠区域形成了以聚对二甲苯薄膜为绝缘的三维纳米间隙，完成了整个制作过程。5.3.2碳纳米管气体传感器李兴辉，Selvapraba Salvarasah23等在三维纳米间隙的基础上，使用介质电泳搭建碳纳米管互联: 在电极间滴加2l的碳管溶液并施加交变电压，对于二维2m间隙和三维1m的间隙，使用峰值电压2 V，1 MHz 频率。1 min 后用氮气枪将液体吹干，排列整齐的碳管束会在范德瓦尔斯( Van der Walls)力作用下连接两电极。电泳完成后进行DNA 修饰（增强
12、其灵敏度）: 在碳管束上滴加2l 的DNA 溶液，并在湿润环境中保持45 min 使其充分浸润。制作完成后，传感器可以和柔性基底一起从硅片上揭落。所制得的传感器暴露在甲醇蒸气中时，会出现明显可重复的反应，它可以检测含量低至4.3106 的甲醇，并且在相当宽的体积分数范围有清晰的分辨能力。此外，该传感器还显示了很快的响应速度和很好的测试复验性。在未来环境监测应用中这种柔性气体传感器有很好的前景。5.4电容式压力传感器对于电容式开关有两种方法可以产生上电极和下电极之间的间隙：1）用感光保护膜。2）通过Parylene与Parylene的连接来实现膜的转移。用这两种方法制得的传感器比以前的传感器体积
13、更小，当结合ASIC技术时有可能感应1mmHg的压力。 为了克服感光保护膜的缺点，Dohyuk Ha24等用Parylene与Parylene的连接方法生成基底膜。这个方法有可能减少整个膜的厚度，并且通过避免回填工艺来简化制造过程。在低温下（230）通过膜转移上下电极之间的间隙将会被包裹。同样这种膜连接技术同样适合于低熔融温度（315）的液晶层基底。膜连接的制造过程：将25m厚的液晶片附着在一块635m厚的铜片上。用光刻离子技术处理掩模层，喷溅60nm厚的Ti/Au层。然后，普通光刻金属层图案，和刻蚀2m的腔。刻蚀完金属掩模后，再次沉积0.5m厚的Ti/Au层作为电容式的下电极。然后用0.5m
14、的一层聚对二甲苯涂作为粘结层，另外在Gu片上涂上清洁剂以便撕裂连接后的膜。然后在金属片上沉积一块1.3m的聚对二甲苯膜。两块聚二对苯膜用压力成形机与各自的金属片相连。粘结条件是在0.3吨的大气压，230下作用30分钟。粘结后将样品侵入氧化铁和铜的刻蚀溶液中。由于湿法刻蚀的不足，即使没有将整块金属进行刻蚀，但聚二对苯膜还是容易从Gu片表面脱离出来。复合膜由1.3m厚的聚二对苯膜、0.3m厚的Ti/Au层和1.3m厚的聚二对苯膜构成。用这种方法制得得的电容式压力传感器面积为300m300m，厚度为30m，比传统的Si基传感器厚度低一数量级。所制得的这种小尺寸的电容式压力传感器，用ASIC集成器件技
15、术能辨识低于1mmHg的压力，并且可用于测试老鼠的眼内压（IPO).5.5一个横向的射频MEMS电容式开关 对于电容式开关，Xunjun He25等用聚对二甲苯做介质时，介质的绝缘特性决定开关的射频。实验结果表明：关闭状态下，当聚对二甲苯为40nm时，电容式开关的电容为520fF，而阻抗超出了设备的极限值。5.6微电子机械系统(MEMS） MEMS作为超小型电子机械,要求使用的材料必须具有如下特性26:(a)能进行微米级微细制作和加工;(b)在微细结构中仍具有优良的电性能和物理机械性能;(c)与其它微细结构材料有很好的兼容性;(d)对微电子机械系统的使用环境有很好的兼容性和防护性。聚对二甲苯能
16、在0.2m厚时就完全没有针孔,5m厚就能耐 1000 V以上直流击穿电压,又是摩擦系数很低的一种自润滑材料,化学惰性和阻隔性能也好。因此,在微电子机械系统中,聚对二甲苯除了作电介质材料外,还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。5.6.1柔性神经微电极阵列微电极阵列(MEAs)是指在电子设备和活细胞组织间传导信号的电极结构,它可以对神经或肌肉进行电刺激,并记录来自感受器或运动纤维的电信号。人造视网膜柔性神经微电极阵列芯片属于神经微电极的一种,以柔性聚合物材料作为基底的微电极芯片在视网膜修复方面发挥了重要作用。吴义伯,邢玉梅27等用可以保证电极长期稳定的固定在parylene基底上的T
17、i作为过渡层；具有优良的导电性和抗腐蚀能力,而且其加工方法与MEMS工艺兼容Pt作为电极材料；采用集中式的引线分布方案，成功制作出了一种基于新型材料-聚对二甲苯(Parylene)为基底的用于视网膜修复的柔性神经微电极阵列。具体步骤: (1)在硅片上淀积一层parylene;(2)旋涂光刻胶(5m),曝光显影后得到需要的衬底图案;(3)溅射金属Al(300 nm),并采用Lift-off工艺得到掩模层图案;(4)使用氧等离子体刻蚀用做掩模层的金属Al;(5)再旋涂光刻胶,曝光显影后得到需要的微电极图案;(6)溅射电极材料Ti/Pt(20 nm/300 nm,;(7)采用Lift-off工艺得到
18、微电极阵列,并将该柔性微电极从硅基底上剥离下来,实现加工目标。7.聚对二甲苯的改性高刘德,刘剑等通过钠-萘络合物28-29的处理,在聚氯代对二甲苯膜表面形成自由基，通过表面自由基原位引发甲基丙烯酸甲酯聚合。发现接枝改性后薄膜的表面能及黏结性能均得到大幅提高,表面能由28.6 mJ/m2提高为54.1 mJ/m2,其拉伸强度由134.7 kPa提升到222.5 kPa；其在聚氯代对二甲苯表面引入C=O极性基团可以有效改善薄膜的亲水性能。7.1热稳定性的改进301）自由端基的终止法：用一种与对二甲苯游离基的反应速度比氧快的活性基团，可使聚合物中残存的游离基得以终止从而提高了聚合物的热稳定性。当加热
19、到高于聚合物的玻璃化温度而低于其烧点时，对二甲苯游离基本身的反应速度就比与氧反应的速度快得多，从而使聚对二甲苯中残存的游离基得以自行终止。化学终止剂有碘甲烷、特丁基过氧化物、正丁基碘、异丙基澳等。碘甲烷用紫外线照射后，产生的甲基能迅速与对二甲苯游离基反应生成性能得以改善的终止聚合物。 2）抗氧剂的包覆法：聚对二甲苯中加入抗氧剂能使聚合物结构产生过氧化稳定作用或使自由基终止。所用抗氧剂为酚类(受阻酚类)和胺类(芳香族仲胺衍生物)。抗氧剂的加入方法可采用浸渍法或共沉积法。浸渍可以在聚对二甲苯成膜前或成膜后。共沉积法是，在物件进行聚对二甲苯包覆时，将抗氧剂与对二甲苯环二体一并放入成膜装置中，进行成膜
20、包覆。7.2聚对二甲苯SiO2复合薄膜 聚对二甲苯膜在可见光波段的透射率不高于90，在紫外波段则更低，从而限制了其在这一领域的应用，刘枫，沈军31 等在其表面镀制一层SiO2来提高聚对二甲苯薄膜的透射率。 镀制：在洁净干燥(相对湿度3次。外来劳务工心理健康活动覆盖率70% ，心理卫生知识知晓率70%207. “心理健康促进学校”专家对企业外来劳务工提供心理咨询和心理健康指导服务。结合外来工心理服务需求，每月1次108. 组织开展外来劳务工心理健康状况筛查与评估，每年组织不少于1次，对早期发现有心理行为问题的个体做好心如何促进文化大发展大繁荣去年召开的党的十七大，时下刚刚召开的全国两会，都深入探
21、讨了促进社会主义文化大发展大繁荣问题。对此，我有以下几点理解：一、促进文化大发展大繁荣，是包括文化事业和文化产业的双重发展、繁荣。不论是文化事业、文化产业，都应该而且能够为社会公众提供丰富多彩的适合人民群众精神文化生活需求的文化艺术产品。所以，要深化文化体制改革，加大对公益性文化事业的投入，并加强资金使用方向与效益的监管，要积极鼓励文化产业发展，对民营文化经济、民营文化系统的文艺人才一视同仁，为他们提供评职晋级、业务培训研讨等方面的同等政策待遇。这方面应该看重的是他们最后的产出成果，是否有效满足了人民群众的健康向上精神文化需求，这是最根本的衡量标准。而且文化事业与文化产业是相互促进、相互渗透的
22、，有竞争，才有活力和创造力，文化事业领域也是如此，不能是无底洞。同时，深受群众喜爱的文化事业项目，也成为创造经济效益的源泉。我们一定要打破传统的那种文化事业只追求社会效益而不管经济效益、文化产业在不违背基本方向的前提下不必追求社会效益而过于注重经济效益的观念，因为，无论是物质产品的生产还是文化产品的生产，只有两个效益相统一，才能收到持久的显著的相得益彰效果，这种规律是内在的、普遍的。二、努力拓展文化产品的覆盖面、影响力是文化大发展大繁荣的前提和更根本的。文化艺术内在的创作规律是根本的，一方面需要内在的质量，一方面需要社会覆盖面和影响力。举一个例子，河北省社会科学院主办的河北学刊，属于纯学术期刊
23、，在全国业内同类刊物中属于佼佼者，原因就在于恪守稿件质量第一的原则，无论你是领导还是普通作者，无论你是社科院内部的专家学者，还是外省市的，都一视同仁，视文章质量来决定登载与否，这种不徇私情，确保了其杂志质量和在业内的影响力、权威性。从而形成了一种良性循环，也就是业内人士都以在该刊物上发表论文为荣、为水平的体现，同时，该刊物总能收到高质量的来稿。还有新华文摘、领导文萃、读者等杂志，都是高品位文章的结晶，所以读者众多，当然作为自办发行的公开期刊，经济效益也相应地很好。还有一个刊物，河北省文联的小小说杂志，面向全国的作者征稿，外省作者的上稿率也非常高，而且对优质小小说给予重奖，这极大地激发了全国各地
24、优秀小小说创作者的积极性（这一点，南方周末、燕赵都市报也同样），所以，小小说的影响力、覆盖面非常大，作者群、读者群越来越大，形成了良性循环。我们当下有一些杂志报刊，尤其是学术类的、时政类的，迎合高校、事业单位人员评职称的需要，大搞关系稿、有偿稿件，这一方面无法保障文章质量，另一方面，绝大部分稿件都是本区域的，无形中对外来稿件采用越来越少，在广大范围的影响力、覆盖面越来越小，这样的话，当然会步入“非良性循环。”这种“非良性循环”当然是不利于文化大发展大繁荣的。这只是从出版领域来说，在影视剧创作、文艺作品创作领域也是同样的道理。乡村爱情、金婚、错爱、家有儿女、武林外传等电视剧长期以来在众多电视台热
25、播，也能验证良性循环的规律。三、要像对待传统文化媒体、平台那样，重视和扶持新兴文化产品生产传播平台建设、新兴文化媒体运作。如今，互联网、手机、光盘、MP3MP4等电子产品，都是新兴的文化媒体、文化产品生产传播平台，而且比传统的文化媒体更具有优势（互动、快捷、无障碍、成本低、影响力更大、影响范围更广等），目前各级党委政府对这些新媒体在传播文化、促进文化大发展大繁荣中的巨大作用与潜力，重视不够，投入不足，这方面的监管力量、文化产品创作队伍建设、硬件设施的体系化建设的力度都不够，而国际社会对此的重视和投入力度相当大，这种反差，使得我们在占领这些新兴文化生产与传播媒体、平台制高点方面很被动，由此也暴露
26、出了一些问题，例如反动、色情文化作品、图片、网站的存在与传播，例如虚假经济社会信息的肆意传播，等等，所造成的现实社会经济政治危害巨大。这必须引起我们的高度重视，尽快采取相应的措施。“政府工作报告令人振奋，鼓舞人心。今年我市经济指标增长迅速，经济和社会事业都上了一个新台阶，实现了十二五的良好开局。”张元富在审议政府工作报告时说，从政府工作报告中可以看出，我市今年的工作全面推进，重点突出，工作务实，成绩显著，并且不回避矛盾，敢于正视发展中的问题。“一年来，市政府紧紧围绕中央精神和省委、市委的决策部署，取得了可喜的成绩。”张元富说，今年年初以来，我市积极应对发展中面临的各种不利因素，坚持贯彻落实“三
27、化”统筹和“三动”战略，经济规模和经济质量明显提升，重大项目和新兴产业进展良好。“报告中说地方工业异军突起，对工业增长的贡献率达61%，这是我市努力调整产业结构，推动多元发展的结果，这也是今年政府工作的亮点之一。”张元富指出，我市在经济结构调整上取得了丰硕成果；城乡居民人均可支配收入基本实现了与GDP的同步增长；城市建设成果显著；获得了来之不易的“全国文明城市”称号这些成绩的取得，为我市未来的发展奠定了坚实的基础，实现了我市“十二五”的良好开局。“政府工作报告安排部署明年工作时，思路清晰，目标可行，措施具体。”张元富认为，全市上下统一思想，在市委和市政府的领导下，明年的工作目标一定能够实现。审
28、议时，文化大发展与大繁荣成为张元富和其他代表共同关注的话题。张湘富代表提出的“我市要大力加强思想文化建设，要努力提升社会文明程度，提高市民文化素质，促进社会和谐发展”的观点，得到了张元富的赞同。“文化大发展大繁荣，就要加强社会主义核心价值体系建设，要用社会主义核心价值体系教人、育人，用社会主义核心价值体系引领文化大发展大繁荣，全面提升公民的思想道德和文化素质。”张元富指出，要坚持以马克思主义为指导，坚持走中国特色社会主义道路，大力宣传爱国主义和“八荣八耻”社会主义荣辱观，要赋予我国优秀传统文化以新的时代内涵。张元富强调，切实加强文化建设，还要积极促进公益事业、公益文化的发展完善；要促进文化产业
29、结构调整，推动文化产业加快发展。各省、自治区、直辖市及计划单列市、副省级市工商行政管理局、市场监督管理局，总局各司（厅、局、室）、直属单位：党的十七届六中全会通过的中共中央关于深化文化体制改革推动社会主义文化大发展大繁荣若干重大问题的决定，深刻阐述了新形势下深化文化体制改革的重要性和紧迫性，明确提出了当前和今后文化改革发展的指导思想、重要方针、目标任务和政策举措，对于推动社会主义文化大发展大繁荣、夺取全面建设小康社会新胜利、开创中国特色社会主义事业新局面、实现中华民族伟大复兴，具有重大而深远的意义。最近，中央办公厅专门发出通知，对学习宣传贯彻党的十七届六中全会精神作出了全面部署。为认真落实中央办公厅通知要求，深入学习贯彻好党的十七届六中全会精神，充分发挥工商行政管理职能作用，积极促进社会主义文化大发展大繁荣，提出如下意见。一、充分认识学习贯彻党的十七届六中全会精神的重大意义，切实增强促进社会主义文化大发展大繁荣的责任
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