1、ICS 31- 550 L 01 备案号: 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T 11450一-2013 单晶炉能源消耗规范 Specification for energy consumption nonn of silicon single crystal grower 2013 -10-17发布2013 -12 -01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 刚昌 本标准按照GB/T1. 1-2009给出的规则起草。 本标准由工业和信息化部节能与综合利用司、中国电子节能技术协会提出。 本标准由中国电子技术标准化研究院归1-10 本标准起草单位:北京七星华创电子股份;何限公司、信息产业部节
2、能监测中心。 SJ/ T 1145一2013 本标准上要起草人:张蕉玲、范宝山、杨卫平、谭三成、吴志红、蒋边宝、薛松、严海若 SJ/ T 11450-2013 寻| - F司 为了贯彻国务院关于加快建设节约型社会及工业和信息化部关于开展资源节约、完善规章制度和标 准的要求，根据原信息产业部信运简2005J23号文和信运简2006J04号文的要求，制定本标准。 IlJ SJ/T门452013 单晶炉能源消耗规范 1 范围 本标准规定了单晶炉能源消耗指标、计算原则、计算方法和评价原则。 本标准适用于装料量为60kg-150 kg的单晶炉。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件 凡是不注日期的引用
3、 GB/T 3484 GB 17167 3. 1 3.2 3. 3 单晶炉能源消耗等级 可比单耗 kW. h/ kg Fhuu 吨，. 守， 级一斥 二一刊 n u n , co 一级 bk主主62.。 5 可比单耗计算方法 5. 1 单晶炉的可比单耗按公式(1)计算: =主. . .(l) m. i SJ/T 11450-2013 式中: bk一一可比单耗，单位为千瓦时每千克(kW h / kg) E一一统计期内单晶炉实耗电能量，单位为千瓦时(kW0的，计算方法见公式(2); mz一一统计期内该设备合格产品的产量，单位为千克Ckg) 5.2 实耗电能量(EJ按公式(2)计算: E=E1 十E
4、2+E) 式中: 一一系统(包括控制装置，不包括磁场)消耗的电能量，单位为千瓦时CkW.h) ; 足一一冷却水折合电能量，单位为千瓦时(kW h) ，计算方法见公式(3); 品一一氯气折合电能量，单位为千瓦时CkW0 h) ，计算方法见公式(4)。 5.2. 1 冷却水折合电能量()按公式(3)计算t (2) E2=2N2 . . . (3) 式中: A一一冷却水的折电系数，单位为千瓦时每吨(kW h / t) .当使用自来水时应=0.6364，当使用 循环水时其折电系数按每吨水的耗电盘计算; 的 一一冷却水消耗量，单位为吨(t) 5. 2. 2 氧气折合电能量()按公式(4)计算: E)=J
5、州1. . . . . . . . . (4) 式中: 冉一-氯气的折电系数，单位为千瓦时每立方米(kW h / m勺3=3. 16 ; 川一_.氧气消耗量(标态).单位为立方米(m勺。 注:标态系标准状态的简称，稽的是温度为O.C、压力为101325 Pa时的状态. 5.3 合格产品产量的计算 单晶炉合格产品产量是指统计期内单晶炉拉出的经检验合格的单品硅棒的整体质量(包括头尾)之 和。 5. 4 单晶炉能耗的统计计算表用于评价，见附录A:现场测试计算表用于检查和自检，见附录B. 6 评价原则 6. 1 单品炉的可比单辑小于或等于62.0 kW h / kg的，能耗达到一级指标。 6.2 单品
6、炉的可比单耗在62.0 kW 0 h/ kg以上且小于或等于77.5kW oh/kg的，能耗达到二级指标。 2 SJ/T 1145。一2013 附录A (规范性附录) 单晶炉能耗统计计算表 -. 晶 . 均生品炉能耗统计计算:表1-. . . , 单晶炉名称:统计表编号: JP-品炉使用属地(省、市、企业、车间), 统计期: 是F 月 年月 且在晶炉参数s 编J.S-型号规格 额定功E在装料盘 各位 kW kg f 设计佳运单位: h匠 役产日期: 主安计.植棉具: 编.I- 计1ll辙具名称型-号测盘范附准确度安装位置刑期锻定杯识 , 统计数据 上年度一一年z 投入/产出项目位折rg系数1月
7、2月3月4月5月6月7月 8月9月10月 11月12月合计 II!. kW. h 冷却水t Y 氯气(标态町133.16 装料1itkg 岛也品格产盘kg 3 SJ/T 11450-2013 rx-表 本年度一一年: 投入/产:lIJ.w日单位 l月7月8月9 Jl I 10月11刀12月合计 电kW. h 二 冷却水 氧气(标态ml 3. 16 装料盘kg 单品棒产量kg 可比常r.毛的计算: 过程和结果 合格产品产盘m，= E n7. kW h/kg 实耗电自主盘I.f:= L;+l马 评价:本台单品炉能挠地J*标准的级水平. 比:本;标准的一级指标b1主主62.0 kW h/kg .二级
8、指标2 记录: 1. 月 问 4 SJ/T . 11450-2013 附录B (规范性附录 主自晶炉能耗现场澳IJi式计算表 . t(!.晶炉能耗现场测试计算表 圃庐l . 单晶炉名称:, 记录表编号: . 1 l在品炉使用E草地省、市、企业、车间)， . !测试人员首位为负责人 :一 |测试人员所属单位; - 嘲 测试朔:开始年月日 1时分-月日时分终止 J I学品炉参数: 编号型号规格 额定功率被料锺 备注 kW kg r 设计m运单位:投产1:1朔: 主姿计盘器具: 编号计:撞击量真名称型号测:理在11N准确皮安装位置刷刷始定标识 , 可队 , , . 单品炉运行工况: , , 测试前状况: 测试期工况: 测试后状况: 测试现场环境: 温度:一一一二c括w.l!t:一一一% . 二大气j王为:一_Pa 测试有关说明 5 SJ/T 11450-2013 组二表 也kWh 冷却J7.k 开始时间 原始数据记录 终止时间 问H 、 .， j 单位时间的盘折Il!.l: 投入/产:1.1项目单位折11系荣立n XX/h kW h 氧气(标态 , m 3. 16 装革斗量kg 单品棒产量kg 可比单糕的计算: 果 kW h/kg 评价:本fT单晶炉能报站到;丰;标准 注:功、;标m的一级指标bk二62.0 kW h/kg 记录:勾王 月 l 仁L 6
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