半导体制造工艺.ppt

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2、荳蝏荳豘联荳筸譼湦葶驢鹾鱾琀遒魣瀀湥蕸渀驸b馍渀驸馍敥遧渀驸馍渀驸渀驸瞕b桎楎屲欀饘梋膈眰卑貋協扟塎g睎卑譏楎苿鸀喋眰卑霰豛鸀豛煎颕蒘Q荜湎蹿N驎慛鹪豛盿鹛谀鱾遒眰卑鹏豛黿豛貋貚貋輀杣轱齧賿桛鉑摣蒉蒋占k华葓葻輰睨卑胿啻轓轜豨轿帀辗杣葶豶腔湨c驎救忿占葎k华衾葓獶帰辗睨卑豨鶑豻W葬W癓獶艑谀W葬癓膑W葬轺豞W癓獶艑W祗驲礰驲貕祔驲荳秿驲繛炍睹卑葔屗祗驲荳迿葒豓魒筧葔W葒v偙NW恢葓鵎屎N葒v腙偧W葬癓膑W葬葧豶葓v馍葥遒敧g驎蕧蒀v癓譓W葬葭膑桠葏膑鶉湏著膑鶉湏W葬轺湦葶骐馍娀萀噑W葬炍炍梈葠鞃潏遒蓿衑炍葔腎塎塎敔W豬汔敧葳譹婒葎貋睢桎葠桎萀杣q驎獬盿鑶葞罶豔癔罣İ湨蒋鱾占著v展辕遒葓vb鵕蒘

3、杣窕辘鉎葒b灎繛讉豠敧g葕譨遒缀覉桛傑遒颀唀豸T葬菿膑豸T葬筭譼豸T葬轺豸T葬葭腎瞕桓纅蝔晥渀渀樀甀砀椀甀吀氀瘀伀夀倀渀漀圀欀倀伀稀猀昀椀樀夀唀娀稀最嘀稀圀礀葾豻W葬癓屑谀筸譼豗蕔轺豞聸癓屑驸卵.1740峉罰3120.12.74.910囪Q琀5117.136.89.920愃G384.11.97.1290縃27118.250.60.1550泼&頀軧5125.47.43.19707115.148.85.1430谀3183.13.204.90梢g蠁9218.201.109.2000慅臌氀7106.81.248.1390峳蜨W明5223.73.55.1750凮掜崃F5111.18.88.1440弤鴃1笘、1116.7.66.530涄&鰀9120.228.234.2360龄礃M谀7219.134.218.760G倀760.211.157.2220戃F诙7220.202.119.850D缀5202.36.49.1770布1蜀9120.229.105.21707113.77.144.2400İ7183.13.205.1570伀h鼀7113.71.229.141