电脑新手 选择题01.docx
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1、l 自動的取込、統計 計算行準備。、Excel 豊富 処理機能簡単。、転記行 場合比、記載消失危険。 Cu Ni Pd Au Au+ CN- CN- Au+ 1.1. 装置 1-4 SII NanoTechnology Inc. 、 工程品質分析 管理図工程管理 次元 0 5 10 15 20 25 5.17- 5.27 5.27- 5.37 5.37- 5.47 5.47- 5.57 5.57- 5.67 5.67- 5.77 5.77- 5.87 5.87- 5.97 5.97- 6.07 6.07- 6.17 6.17- 6.27 6.27- 6.37 6.37- 6.47 6.47-
2、6.57 6.57- 6.67 膜厚 度 数 管理図 目標値 5.80 6.20 5.40 5 5.2 5.4 5.6 5.8 6 6.2 6.4 6.6 6.8 17131925313743495561677379859197 1 章章. 装置概要装置概要 SII NanoTechnology Inc. 1-5 1.2 安全規制安全規制 電離放射線障害防止規則 線取扱、線被曝事故防止、電離放射 線障害防止規則制定、管理区域明示線作業主任 者選任定。 本装置場合、出荷時線漏洩量検査実施、規則定基準値 月.超確認、確保、 管理区域設定明示(電離放射線障害防止規則第条) 線作業主任者選任(電離放射
3、線障害防止規則第条) 必要。 、所轄労働基準監督署行政指導実施 。場合、線作業主任者養成、放射線対 知識習得勧。 労働安全衛生法労働安全衛生規則 、装置導入設置移転際、 計画届出計画届出(労働安全衛生法第条、労働安全衛生法施行令第条、労働 安全衛生規則第条、第条、第条) 定、必要書類用意所轄労働基準監督署提出 。装置導入際届出必要書類弊社用意 。 本装置線利用、事前届出他 手続必要、安全使、前述 線漏洩量基準値以下確保。 、所轄労働基準監督所長計画届免除認定交付事 業者、労働安全衛生法第 88 条第項及第 2 項基届出義 務免除。 計画届免除認定計画届免除認定(労働安全衛生法第条書、労働安全衛
4、生規則 第条、第7 条) 1.3. 本装置特徴 1-6 SII NanoTechnology Inc. 1.3 本装置特徴本装置特徴 極微細部高精度測定 高輝度線源導入 線集光光学系()線管球一体化線源、実 照射100m 程度高輝度線実現。、 100m 程度極微細部迅速測定可能。 高計数率検出器導入 今半導体検出器約 10 倍高計数率誇、同時高分解 能実現型半導体検出器採用。上記高輝 度線源相乗効果、従来蛍光線膜厚計検出強度 不足十分精度得、 基板等微小薄膜測定対応。 高大幅省力化 試料、SFT9000 定評式 採用。 自動測定測定位置登録容易行。 AT Windows採用 IBM PC/AT
5、 互換機制御部採用、制御( ) Microsoft Windows上動。 操作性一段向上。 充実機能 測定位置観察 Windows上行。、膜厚測定 結果試料画像印刷、保存 可能。 測定結果統計処理報告書作成、標準装備 Microsoft Excel Microsoft Word 使用。次元表示等高線図 各種管理図自由自在作成。 1 章章. 装置概要装置概要 SII NanoTechnology Inc. 1-7 1.4 各部名称各部名称 SFT9500 、SFT9500 致。 X-ray表示 。試料画像表示 。 測定部 線発生部検出部試料観察 光学系試料 。 試料操作行 。 本体 全 制御部。
6、 試料扉 測定試料開 。 電源 BOX 1.4. 各部名称 1-8 SII NanoTechnology Inc. 測定部前面 線 線電源 。状態 抜取 。 線 ON (黄) 線電源時( 線発生中)点灯。 電源 ON (緑) 押電源入 。電源 点灯。 電源 OFF (赤) 押電源切 。 1 章章. 装置概要装置概要 SII NanoTechnology Inc. 1-9 測定 試料測定開始押 。 測定中赤色点灯。 動。 倒角度大、高 速動。 FAST 軸同時 押、移動早 。 軸 軸上下。 1.5. 装置構成 1-10 SII NanoTechnology Inc. 1.5 装置構成装置構成 1
7、.5.1. 標準構成品 標準構成品 梱包、付属品全揃確認下。 区分 名称 数量 備考 区分 名称 数量 備考 測定 1 台 1 個 1 台 電源付 1 個 1 個 液晶 1 台 電源付 付属品 1 式 取扱説明書、CD-ROM 等 1 枚 電源 1 台 電源付 USB 1 個 機器間接続 1 式 2 本 1 本 1 本 2 1 本 3 1 本 X-Ray Install CD 1 枚 CD X-ray Driver Disk (FD) 1 枚 用 出荷時 Ver9.02.0.0 以降場 合付属。 基本構成 Analysis Data Disk (FD or CD) 1 枚 標準測定条件 取扱説
8、明書 1 部 校正用治具 1 式 強度校正板 校正板 分解能校正板 光軸調整治具 試料照明用 2 個 消耗品 付属品 5 枚 消耗品 120120 用:5 枚 1.5.2. 構成 構成 区分 名称 区分 名称 標準物質(薄膜、) 高精細表示 (Surfer) 静電気対策用 PC 液測定用 (SFT9500,9550 ) 保守部品 (扉部、部、駆動 部)(SFT9500L ) 構成品 Au 極薄膜測定用 1 章章. 装置概要装置概要 SII NanoTechnology Inc. 1-11 1.6 装置仕様装置仕様 1.6.1. 測定部 測定部 (1) 試料室 試料 寸法 幅 奥行 SFT950
9、0 240mm 175mm SFT9550 420mm 330mm SFT9500L 840mm 540mm 可動範囲 幅 奥行 高 SFT9500 220mm 150mm 150mm SFT9550 400mm 300mm 50mm SFT9500L 400mm 300mm 50mm 駆動方式 軸(最小送 2m) 軸(最小送 2m) 耐荷重 SFT9500 10kg(均一荷重偏無) SFT9550 5kg(均一荷重偏無) SFT9500L 3kg(均一荷重偏無) 試料室内寸 幅 奥行 高 SFT9500 510mm 400mm 150mm SFT9550 860mm 640mm 50mm S
10、FT9500L 1300mm 840mm 50mm 最大試料厚 SFT9500 145mm SFT9550 45mm SFT9500L 3mm SFT9500L 測定対象試料形状、厚 3mm 以下平板。 SFT9500L 、SFT9500/9550 搭載衝突防止搭載 、試料面高 5mm 以上試料、試料 操作時測定部衝突可能性。試料操 作時、本装置扉開、測定対象物装置構造物衝突 目視確認慎重試料操作推奨。 雰囲気 大気 試料観察 透明含鉛樹脂窓 扉機構 試料測定時試料室扉。 (2) 線発生部 照射方式 上面垂直照射方式 線管球 管電圧 30kV 50kV 管電流 1000A(30kV 時)、60
11、0-1000A(50kV 時) 冷却方式 空冷 一次 Off、Pb 用、Cd 用電 動切替 1.6. 装置仕様 1-12 SII NanoTechnology Inc. 100m 用5mm 用電動切替 100m 用:主用途微小部分析 径: 100m 以下 径、管電圧30kV、一次Off、焦点位置:0mm条件、CuK AuL対。条件以外径上記値広 。 、径測定対象元素異。 5mm 用:主用途微量分析 径: 5mm 以下 試料内濃度分布不均一場合、測定誤差大可能性 。5mm 測定領域内平均濃度測定、中心 0.1mm 範囲濃度影響強受結果得。 径、焦点位置:0mm 条件。焦点位置変、上記値広 。 (
12、3) 線検出部 型半導体検出器 液化窒素不要 分解能 200eV 以下 分解能、計数率 25000cps 以上時 MnK半値幅示。 装置校正 校正用治具用実施。 (4) 試料観察系 観察光学系 試料観察光学系線照射軸一致 、測定位置確認、指定高精度行 。 30 万画素 最大観察倍率 19 最大表示時約 30 倍120 倍 1、2、3、4 切替 照明光源 150W 光学系垂直落射斜照明 焦点合機能 試料画像利用 衝突防止 試料室内装置構造体(試料観察)先端 測定試料衝突、検出 信号、試料上昇停止 。(SFT9500,9550 ) 試料形状検出場合。 焦点位置切替機能 0mm、5mm、10mm 段
13、階切替可能 、径100um、0.5mm、1mm 相当。 (30kV、100m 、 Off) 光軸調整 付属校正用治具用光軸確認、調整 。 1 章章. 装置概要装置概要 SII NanoTechnology Inc. 1-13 (5) 計数回路 計数回路 補正 2048ch (6) 操作部 操作 電源、電源、 線、線 試料方向動。 (7) 他 安全機構 基、線電源遮断機構、 及開閉機構 1.6. 装置仕様 1-14 SII NanoTechnology Inc. 1.6.2. (操作制御部) (操作制御部) (1) 型 7 19 型 液晶 1.6.3. (1) 測定 (点)測定 任意位置多点連続
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