GB50685-2011 电子工业纯水系统设计规范.docx
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1、统一书号:1580177 724定 价:15.00元UDC中华人民共和国国家标准PGB 50685-2011电子工业纯水系统设计规范Code for design of pure water system ofelectronic industry2011-05-12发布2012-05-01实 施联合发布中华人民共和国住房和城乡建设部中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准电子工业纯水系统设计规范Code for design of pure water system of electronic industryGB 50685-2011主编部门:中华人
2、民共和国工业和信息化部批准部门:中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期:2 0 1 2 年 5 月 1 日中 国 计 划 出 版 社2012 北 京中 华 人 民 共 和 国 住 房 和 城 乡 建 设 部 公 告第1028 号关于发布国家标准电子工业纯水系统设计规范的公告中华人民共和国国家标准电子工业纯水系统设计规范GB 50685-2011中国计划出版社出版(地址:北京市西城区木椰地北里甲11号国宏大厦C 座4层)(邮政编码:100038 电话:63906433 63996381)新华书店北京发行所发行北京世知印务有限公司印刷8501168毫米 1/32 2.5印张 63千字2012年2月
3、第1版 2012年2月第1欢印刷印数I6000册统一书号:1580177 724定价:15.00元现批准电子工业纯水系统设计规范为国家标准,编号为 GB 506852011,自2012年5月1日起实施。其中,第6 . 1 .8、 6.1.9、6.1.10,6.3.3、6.3.4,6.4.7条为强制性条文,必须严格 执行。本规范由我部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发 行。中华人民共和国住房和城乡建设部 二O 一年五月十二日前 言本规范是根据原建设部关于印发的通知(建标函2005124 号)的要 求,由信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司会 同中国电子工程设计研究院、上海电子工程
4、设计研究院有限公司 和北京北方佳云净水设备有限公司共同编制完成。本规范在编制过程中,编制组认真贯彻国家基本建设方针和 有关环保、节水要求,在认真、全面调查我国电子工业纯水系统的 设计和使用现状的基础上,广泛征求国内各设计院、工程公司、生 产厂商和使用单位的意见,参考相关国际标准,最后经审查定稿。本规范共分8章和2个附录。主要内容包括:总则,术语,纯 水制备工艺,纯水输送和分配,纯水回收和节水,纯水站房,药品贮 存,计量和输送,控制及仪表等。本规范中以黑体字标志的条文为强制性条文,必须严格执行。本规范由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解 释,由工业和信息化部负责日常管理,由信息产业电子第
5、十一设计 研究院科技工程股份有限公司负责具体技术内容的解释。在执行 本规范过程中,请各单位结合技术进步和具体的工程实践,认真总 结积累经验,如发现需要修改或补充之处,请将意见和建议寄送信 息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司(地址:四川 省成都市新华大道双林路251号;邮政编码:610021;传真:028- 84333172),以便今后修订时参考。本规范主编单位、参编单位、主要起草人和主要审查人:主 编 单 位 :信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份 有限公司1 1 参 编 单 位:中国电子工程设计院上海电子工程设计研究院有限公司北京北方佳云净水设备有限公司主 要 起 草 人 :
6、 肖 劲 戈 路 振 福 樊 勖 昌 王 凌 旭 薛 长 立杜 宝 强 路 健 崔 淑 洁 龙 明 全 马 礼 飞黄 汉 新 周 小 莉 裴 志 华 李 希 云主 要 审 查 人 : 周 可 可 林 耀 泽 毛 煜 林 罗 昌 责 杨 琦萧 百 宏 李 春 鞠 唐 世 权 王 春目 次1 总 则 (1)2 术 语 (2)3 纯 水 制 备 工 艺 (4)3.1 一般规定 (4)3.2 预处理 (5)3.3 脱盐及深度处理 (8)3.4 精处理 (11)3.5 特殊水质指标的技术措施 (11)3.6 水箱、水泵 (12)4 纯 水 输 送 和 分 配 (13)4.1 一 般规定 (13)4.2
7、管道设计 (14)5 纯 水 回 收 和 节 水 (16)5.1 一般规定 (16)5.2 纯水回收 (16)5.3 节水措施 (17)6 纯 水 站 房 (18)6.1 一 般规定 (18)6.2 设备布置 (19)6.3 管道布置 (20)6.4 土建 (21)6.5 电气 (22)6.6 采暖通风 (22)6.7 给水排水和消防 (23)7 药品贮存、计量和输送 (24)7.1 一般规定 (24)7.2 酸、碱及盐 (24)8 控制及仪表 (26)8.1 一般规定 (26)8.2 纯水系统监控系统设计选型 (26)8.3 现场控制系统及集中监控系统设计 (27)8.4 仪表设置 (28)
8、附录 A 水质全分析报告 (29)附录 B 离子交换器设计参数 (30)本规范用词说明 (34)引用标准名录 (35)附:条文说明 (37)Contents1 General provisions (1)2 Terms (2)3 Pure water preparation process (4)3.1 General requirement (4)3.2 Pretreatment (5)3.3 Desalting and deep treatment (8)3.4 Fine treatment(Polishing) (1133.5 Technica measures for special
9、water quality index (11)3.6 Water tank and water pump (12)4 Pure water supply and distribution (13)4.1 General requirement (13)4.2 Piping desigh (14)5 Pure water reclaim and water saving (16)5.1 General reguirement (15)5.2 Pare water seclaim (15)5.3 Water saving measare (17)6 Pure water plant (18)6.
10、1 General requirement (18)6.2 Equipment layous (19)6,3 Piping layout (20)6.4 Constretion (21)6.5 Eleetrical (22)6.6 Heating and vehtilation (22)6.7 Water supply and draisage, fire fighting (23) 第 4 7 Chemical storage, metcring and transfer (24)7.1 General requirement (24)7.2 Acid, alkaline and salt
11、(24)8 Control and instrumentation (26)8.1 General requirement (26)8.2 Design and seleetion of monitoring system for purewater plant (26)8.3 Design of site control system and central monitoringsystem (27)8.4 Instrument setup (28)Appendix A Water quality full analysis report (29)Appendix B Ion exchang
12、er design parameters (30)Explanation of wording in this code (34)List of quoted standards (35)Addition:Explanation of provisions (37)1 总 则1.0.1 为确保电子工业纯水系统出水满足电子产品生产工艺要求,确保电子工业纯水系统的设计做到技术先进、安全适用、经济 合理、操作方便,制定本规范。1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工业纯水系统的工程设计。1.0.3 电子工业纯水系统设计应贯彻执行国家的技术经济政策,合理选择水源,节约能源,节约用水,节约用地,
13、保护环境,安全卫 生,提高经济效益。1.0.4 电子工业纯水系统设计应根据主体工程建设规划、生产特点等综合确定,并应经技术经济比较,择优确定设计方案。当主体 工程为分期建设时,纯水系统应按最终容量(规模)统一规划、合理 布局、分期实施1.0.5 电子工业纯水系统的设计应为施工安装、维护管理、检修、检(监)测和安全运行创造必要的条件。1.0.6 电子工业纯水系统的改建、扩建设计,应合理利用、改造原有设施。1.0.7 纯水回收和节水设施宜与纯水制备系统统筹规划,并宜同时设计、同时施工、同时投运。1.0.8 纯水系统排放的废水,应达到国家和地方排放标准后再排放 。1.0.9 电子工业纯水系统的工程设
14、计,除应符合本规范外,尚应符合国家现行有关标准的规定。2 术 语2.0.1 电子工业纯水 pure water for electronic industry电子工业生产所需的纯化水的通称,根据生产需要的水质去除生产所不希望保留的各种离子以及其他杂质的水。2.0.2 电子工业纯水系统 pure water system for electronicindustry制取和配送用于电子工业生产纯水的系统,通常包括纯水制备、纯水的输送和分配、纯水的回收和处理的系统。2.0.3 软化水 soft water除掉部分或全部钙、镁离子等后的水。2.0.4 淤塞指数(SDI) silt density in
15、dex保证反渗透正常运行的进水水质重要指标,它通过被测水样对0.45um 滤膜的淤塞程度间接表征造成反渗透膜面堵塞的水中微量悬浮物、胶体的含量,又称污染指数FI。2.0.5 电 阻 率 resistivity度量水溶液阻止电流通过的能力,等于在一定温度下, 一对截面积为 1cm 的电极在1cm 距离间的电阻值,其单位为 cm 或 M cm。2.0.6 电 导 率 condactivity度量水溶液导电的能力,等于电阻率的倒数,其单位为s/cm或 s/cm。2.0.7 总有机碳(TOC) total organic carbon水中溶解性和悬浮性有机物中碳的总量,反映水中有机物含量的指标。2.0
16、.8 微 滤(MF) microfitration通常指在外压作用下,利用筛网状过滤介质膜的“筛分”作用进行分离的膜分离技术。.2 2.0.9 超 滤(UF) ultrafiltration通常指在外压作用下,利用非对称性膜去除水中亚微米悬浮 物的膜分离技术。超滤能截留分子量范围为几百至几百万的溶质 和微粒,多为大分子有机物和胶体。2.0.10 反渗透(RO) reverse osmosis在外加压力作用下,利用一种半透性薄膜使水分子和其他一 些物质选择性透过,从而将绝大部分悬浮物和绝大部分溶解固形 物(盐)截留去除的膜分离技术。2.0.11 电脱盐(EDI) eleetrodeionizat
17、ion一种利用装填阳、阴混合离子交换树脂或离子交换无纺布,在 直流电场作用下连续去除水中离子而不需要专门再生的除盐装置 的统称。2.0.12 紫外线杀菌 UV sterilization通过波长254nm 的紫外线照射杀灭水中的活菌为紫外线杀 菌装置。2.0.13 紫外线除有机碳 UV-TOC Removal通过波长185nm 的紫外线照射分解纯水中的微量 TOC 为 紫外线除 TOC 装置。2.0.14 膜脱气装置(MDG) membrane degasifier利用膜分离技术降低水中挥发性溶解物质的装置,在电子工业纯水系统中主要是脱除纯水中的溶解氧。2.0.15 供水环路 distribu
18、tion loop为保证电子工业最终使用点的纯水水质和水压而采用的有附 加循环水量的不间断供水方式:最终使用点用水取自从终端过滤 器到纯水水箱之间的闭合供水环路。供水环路一般由纯水精处理 系统和供、回水管路共同组成。2.0.16 背压调节阀组 back pressure regulation agit设于纯水回水管路末端,通过调节阀通径大小的变化来维持。 调节纯水供回水管路压力的调节阀组。 3 3 纯水制备工艺3.1 一 般 规 定3.1.1 电子工业纯水系统应根据电子产品生产工艺要求,合理确 定纯水制备系统的规模和供水水质。3.1.2 电子工业纯水系统制水流程和设备的选择应根据对纯水 水质的
19、要求、原水水质以及运行管理水平,并结合处理效果、原水 的利用率、节能、环保等因素,经技术经济比较确定。3.1.3 电子工业纯水系统应根据最终产品水水质要求选择简捷、 有效的处理流程和可靠的处理设备。3.1.4 纯水站的产水量应根据各类产品水量加系统自用水量确定。3.1.5 电子工业纯水系统设计前应取得全部可利用水源的水质 全分析资料,并应选择有代表性的水质分析资料作为设计依据。 水质全分析报告格式应符合本规范附录 A 的要求。水质资料的 获取应符合下列要求:1 水源为地表水时宜取得全年逐月水质资料。2 水源为地下水时宜取得全年每季的水质资料。3 当无法得到逐月或逐季资料时,应掌握水质随季节的变
20、化规律。3.1.6 对可能受到海水倒灌或其他因素影响的水源,应掌握由此 而引起的水质变化情况。对于来自生产过程中的回用水,应掌握 其来源与组成。3.1.7 电子工业纯水制备系统应由预处理、脱盐及深度处理和精 处理组成,各阶段达到的目标应符合下列要求:1 预处理阶段水质应满足脱盐装置进水水质的要求。2 脱盐及深度处理阶段产水水质应接近最终产水水质要求。 4 3 精处理阶段应保证不间断地满足最终产水水质、水量和水 压等要求,3.1.8 系统设计中每个水处理装置的出水水质应满足后续处理 装置的进水水质要求,水处理装置的进水水质应根据制水设备的 要求确定。水质要求较高或有多项水质指标时尚应符合最终水质
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