20220616-东吴证券-华海清科-688120.SH-设备耗材服务三大逻辑看好CMP龙头高成长性.pdf
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1、证券研究报告公司深度研究半导体 东吴证券研究所东吴证券研究所 1 / 38 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 华海清科(688120) 设备、 耗材、 服务三设备、 耗材、 服务三大大逻辑看好逻辑看好 CMP 龙头高龙头高成长性成长性 2022 年年 06 月月 16 日日 证券分析师证券分析师 周尔双周尔双 执业证书:S0600515110002 021-60199784 证券分析师证券分析师 黄瑞连黄瑞连 执业证书:S0600520080001 股价走势股价走势 市场数据市场数据 收盘价(元) 231.43 一年最低/最高价 224.10/238.50 市净
2、率(倍) 20.58 流通 A 股市值(百万元) 5,530.45 总市值(百万元) 24,685.87 基础数据基础数据 每股净资产(元,LF) 11.25 资产负债率(%,LF) 71.20 总股本(百万股) 106.67 流通 A 股(百万股) 23.90 相关研究相关研究 买入(首次) Table_EPS 盈利预测与估值盈利预测与估值 2021A 2022E 2023E 2024E 营业总收入(百万元) 805 1,679 2,519 3,274 同比 109% 109% 50% 30% 归属母公司净利润(百万元) 198 357 541 719 同比 103% 80% 52% 33%
3、 每股收益-最新股本摊薄(元/股) 1.86 3.34 5.07 6.74 P/E(现价&最新股本摊薄) 124.50 69.20 45.61 34.32 Table_Summary 本土本土 CMP 设备设备龙头龙头,业绩持续高速增长,业绩持续高速增长 公司是本土 CMP 设备龙头,12 英寸 CMP 设备唯一国产供应商,供货中芯国际、长江存储、华虹集团、英特尔等海内外半导体头部客户,业绩持续大幅增长。1)收入)收入端端:2021 年公司营业收入达到 8.05 亿元,2017-2021 年 CAGR 高达 155%,2022Q1 同比+193%。 2021 年末公司未发出产品的在手订单超过年
4、末公司未发出产品的在手订单超过 70 台, 将保障短期收入端延续高台, 将保障短期收入端延续高速增长速增长。2)利润端:)利润端:2020 年公司扭亏为盈,2021 年实现归母净利润 1.98 亿元,同比+103%,2022Q1 达到 0.91 亿元,同比+122%,延续高速增长。2020-2022Q1 公司扣非公司扣非后后销售净利率分别为销售净利率分别为 3.79%、14.16%和和 22.37%,真实盈利水平持续大幅提升。,真实盈利水平持续大幅提升。 逻辑一:逻辑一:CMP 新增需求超新增需求超 500 亿元,亿元,公司公司 CMP 业务有较大成长空间业务有较大成长空间 中国大陆成为全球晶
5、圆扩产中心,根据集微咨询,中国大陆未来 5 年将新增 25 座12 英寸晶圆厂,总规划月产能将超过 160 万片,我们预估对 CMP 设备的需求将达到563 亿元。1)全球 CMP 设备由 AMAT 和日本荏原主导,2019 年全球市占率合计高达95%。公司为本土 12 英寸 CMP 设备唯一国产供应商,2018-2020 年在本土 CMP 设备市占率分别为 1.05%、6.12%和 12.64%,持续大幅提升。2)公司公司 CMP 设备已应用于设备已应用于当前国内大生产线的最高水平,当前国内大生产线的最高水平,14nm 也在客户验证,也在客户验证,将将充分受益进口替代充分受益进口替代趋势趋势
6、。若若仅仅考虑考虑在本土在本土新建新建 12英寸晶圆厂扩产需求带动下, 我们中性预计英寸晶圆厂扩产需求带动下, 我们中性预计 2022-2026年公司年公司 CMP设备收入规模合计可达设备收入规模合计可达 197 亿元。亿元。 逻辑二:逻辑二:CMP 后市场是重要组后市场是重要组成成部分,公司部分,公司耗材耗材服务服务收入收入快速提升快速提升 CMP 设备耗材使用量大、 核心零部件需定期维保, 是后服务市场需求较大的环节。1)受益本土晶圆厂大规模扩产,我们预估仅 2022-2026 年中国大陆 12 英寸晶圆新增产能,在 2026 年对 CMP 设备配套耗材、7 分区抛光头维保服务的需求就分别
7、可达 12、36 亿元。2)2021 年公司年公司 CMP 配套材料及技术服务收入达到配套材料及技术服务收入达到 1.11 亿元亿元,2018-2021 年年CAGR 高达高达 205%。我们判断随着公司。我们判断随着公司 CMP 设备持续大规模出货,后服务业务有望设备持续大规模出货,后服务业务有望保持高速增长态势。保持高速增长态势。中性情形下,中性情形下,仅仅考虑考虑 2022-2026 年本土年本土新建新建 12 英寸晶圆厂扩产需英寸晶圆厂扩产需求,求,我们预计我们预计公司公司 CMP 设备配套材料设备配套材料&技术服务的远期收入规模将达到技术服务的远期收入规模将达到 16.58 亿元亿元
8、。 逻辑三:逻辑三:晶圆再生需求日益增长,晶圆再生需求日益增长,IPO 扩产扩产将将成成公司公司新的增长点新的增长点 晶圆再生主要用于晶圆制造产线中测试片的回收再利用, 我们预计 2026 年中国大陆晶圆再生市场规模可达 19 亿元(仅考虑 12 英寸) 。1)全球晶圆再生产能高度集中于日本和中国台湾,在本土至纯科技、协鑫集成等企业均在积极布局晶圆再生业务,合计设计产能达到 111 万片/月。2)公司公司 IPO 募投加码晶圆再生业务,规划产能为募投加码晶圆再生业务,规划产能为 10万片万片/月。晶圆再生其中涉及月。晶圆再生其中涉及 CMP 工艺的抛光环节可以高精度修复前段工艺留下的不工艺的抛
9、光环节可以高精度修复前段工艺留下的不平整晶圆表面,是晶圆再生工艺流程的核心技术难点,属于公司平整晶圆表面,是晶圆再生工艺流程的核心技术难点,属于公司 CMP 主业的技术外主业的技术外延,公司晶圆再生业务具备突出重围的潜力,有望延,公司晶圆再生业务具备突出重围的潜力,有望成为公司新的增长点成为公司新的增长点。 盈利预测与投资评级:盈利预测与投资评级:我们预计 2022-2024 年公司营业收入分别为 16.79、 25.19和 32.74 亿元,当前市值对应动态 PS 分别为 15、10 和 8 倍。考虑到公司成长性较为突出,首次覆盖,给予“买入”评级。 风险提示:风险提示:晶圆厂资本开支下滑、
10、新品研发&客户验证进程不及预期等。 -18%-16%-14%-12%-10%-8%-6%-4%-2%0%2%4%6%2022/6/82022/6/102022/6/122022/6/142022/6/16华海清科沪深300更多投研资料 公众号:mtachn 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 2 / 38 内容目录内容目录 1. 国产国产 CMP 设备龙头,业绩持续高速增长设备龙头,业绩持续高速增长 . 5 1.1. 12 英寸 CMP 设备唯一国产供应商,供货主流半导体客户 . 5 1.2. 清华大学产学研资源加持,C
11、MP 设备技术储备领先 . 7 1.3. 收入规模加速扩张,盈利水平持续大幅提升. 10 2. CMP 设备新增需求超设备新增需求超 500 亿元,公司亿元,公司 CMP 业务仍有较大空间业务仍有较大空间 . 13 2.1. 中国大陆成为全球晶圆扩产中心,半导体设备景气度有望延续. 13 2.2. 受益 12 寸晶圆厂大规模扩产,2022-2026 年 CMP 设备需求超 500 亿元 . 16 2.3. 全球 CMP 设备由海外主导,公司在本土市场份额持续大幅提升 . 19 2.4. 公司 CMP 产品不断升级完善,设备业务仍有较大成长空间 . 21 3. 耗材耗材+服务全方位布局,进一步打
12、开公司成长空间服务全方位布局,进一步打开公司成长空间 . 23 3.1. 耗材&技术服务:CMP 设备后市场需求空间大,公司有望快速扩张 . 23 3.1.1. 后市场是半导体设备重要组成部分,CMP 耗材维保需求空间较大 . 23 3.1.2. 公司 CMP 耗材&维保业务收入快速增长,远期空间较大 . 28 3.2. 晶圆再生:与 CMP 设备业务高度协同,有望成为新增长点 . 30 4. 盈利预测与投资评级盈利预测与投资评级 . 34 5. 风险提示风险提示 . 36 更多投研资料 公众号:mtachn 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴
13、证券研究所 公司深度研究 3 / 38 图表目录图表目录 图 1: 公司成立九年来,在 CMP 设备领域持续突破 . 5 图 2: 公司主营业务为半导体抛光及减薄设备&配套材料及技术服务 . 6 图 3: 2018-2021 年公司 CMP 设备收入占比高于 85% . 6 图 4: 公司 CMP 设备销售以 12 英寸(300 系列)为主 . 6 图 5: 长江存储、华虹集团、中芯国际连续三年稳居公司前三大客户. 7 图 6: 目前清华大学为公司实际控制人. 8 图 7: 公司核心技术人员通过三大员工持股平台对公司间接持股. 8 图 8: 2021 年底公司研发人员占比高达 32% . 9
14、图 9: 2021 年底公司本科以上学历员工占比高达 62% . 9 图 10: 2017-2021 年公司研发费用 CAGR 达到 63% . 9 图 11: 2019 年起公司研发费用率大幅下降 . 9 图 12: 公司 CMP 设备领域多项核心技术达到国内领先 . 10 图 13: 2017-2021 年公司营业收入 CAGR 达 155% . 11 图 14: 2017-2021 年公司 CMP 设备收入 CAGR 达 165% . 11 图 15: 2020 年公司归母净利润实现扭亏为盈. 11 图 16: 2018-2022Q1 公司盈利能力持续提升 . 11 图 17: 2017
15、-2021 年公司销售毛利率持续快速提升 . 12 图 18: 2017-2021 年公司 CMP 设备毛利率快速上升 . 12 图 19: 2018-2020 年公司期间费用率大幅下降 . 12 图 20: 2022Q1 公司期间费用率已经低于本土同行 . 12 图 21: 2022Q1 末公司合同负债达到 8.36 亿元 . 13 图 22: 2022Q1 末公司存货达到 16.75 亿元 . 13 图 23: 2021 年底公司库存商品&发出商品达到 81 台,同比+238% . 13 图 24: 2021 年全球半导体设备销售额达 1026 亿美元. 14 图 25: 2021 年中国
16、大陆半导体设备销售额为 296 亿美元. 14 图 26: 2022Q1 我国新能源汽车销量同比+143% . 14 图 27: 2022 年以来全球半导体销售额仍高速增长. 14 图 28: 2021 年底中国大陆晶圆产能全球占比仅 16% . 15 图 29: 2021-2022 年中国大陆将再新增 8 座晶圆厂 . 15 图 30: 华虹集团、中芯国际、长江存储、合肥长鑫合计扩产空间超过 100 万片/月 . 15 图 31: 2022 年中国大陆 12 寸晶圆厂扩产空间较大. 16 图 32: 2022-2026 年中国大陆将再新增 25 座晶圆厂 . 16 图 33: CMP 平坦化
17、原理为化学+机械方式协同 . 16 图 34: CMP 是晶圆表面平坦化的关键工艺 . 16 图 35: CMP 设备广泛应用于集成电路产业链多个环节 . 17 图 36: 2021 年全球/中国大陆 CMP 设备市场规模分别为 41.1 和 10.4 亿美元 . 18 图 37: 2024 年全球 10nm 以下先进制程占比约 30% . 18 图 38: 先进制程下 CMP 抛光步骤需求明显增加 . 18 图 39: 我们中性预计 2022-2026 年中国大陆新增 12 英寸晶圆产能对 CMP 设备需求将达 563亿元. 19 图 40: 2019 年全球 CMP 设备 CR2 市场份额
18、高达 95% . 20 图 41: 公司和 AMAT 和日本荏原的差距主要体现在制程工艺水平上 . 20 更多投研资料 公众号:mtachn 请务必阅读正文之后的免责声明部分请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 4 / 38 图 42: 2018-2020 年公司在本土市场份额快速提升 . 21 图 43: 2021 年公司在部分晶圆厂中标率高达 44.26% . 21 图 44: 2022 年 1-5 月公司在积塔半导体 CMP 设备招标中中标率高达 83% . 21 图 45: 公司 CMP 设备应用制程先进性快速推进 . 22 图 46: 公司 C
19、MP 设备已全面应用于逻辑/存储领域 . 22 图 47: 我们中性预计 2022-2026 年公司 CMP 设备销售额合计可达 197 亿元 . 22 图 48: 先进制程下芯片的厚度快速降低. 23 图 49: 公司已研发出 Versatile-GP300 减薄抛光一体机 . 23 图 50: 公司 IPO 募投重点加码高端半导体设备产业化&研发项目 . 23 图 51: AMAT 全球应用服务收入占比可达 22% . 24 图 52: LAM 客户支持业务及其他收入占比高达 33% . 24 图 53: 2021 年中微公司后服务业务收入占比达到 19% . 24 图 54: 抛光头、气
20、模、保持环等为 CMP 设备的核心耗材零部件 . 25 图 55: 公司 CMP 耗材业务主要包括保持环、气膜、7 分区抛光头等 . 26 图 56: 公司单台 CMP 设备对耗材、七分区抛光头维保服务需求分别约 45、200 万元/年 . 27 图 57: 2022-2026 年中国大陆 12 英寸晶圆新增产能在 2026 年对 CMP 设备配套需求将达 12 亿元. 28 图 58: 2022-2026 年中国大陆 12 英寸晶圆新增产能在 2026 年对七分区抛光头维保需求约 36亿元. 28 图 59: 2018-2021 年公司后服务收入 CAGR 为 205% . 29 图 60:
21、 2021 年公司后服务收入占比约为 14% . 29 图 61: 公司技术服务及其他业务毛利率明显高于 CMP 设备 . 29 图 62: 我们中性预计公司 CMP 设备配套材料&技术服务业务远期收入可达 16.58 亿元 . 30 图 63: 晶圆再生主要指晶圆制造过程中测试片的回收再利用. 30 图 64: 测试片是提升薄膜沉积效果的有效方式. 31 图 65: 2021 年全球半导体硅片价格平均价格明显上涨. 31 图 66: 全球晶圆再生市场由日本&中国台湾企业主导 . 31 图 67: RST 晶圆再生产能全部在日本&中国台湾地区 . 31 图 68: 2021 年 RST 晶圆再
22、生中国大陆占比仅 7% . 32 图 69: 2021 年中砂对中国大陆地区收入占比仅 10.6% . 32 图 70: 我们中性预估 2026 年中国大陆晶圆再生市场规模约为 19 亿元. 32 图 71: 海内外企业均在积极加码中国大陆晶圆再生市场. 33 图 72: CMP 是晶圆再生加工流程中的核心工艺环节 . 34 表 1: 公司分业务收入预测(百万元). 35 表 2: 可比公司估值(PS,截至 2022/6/16 收盘股价) . 35 表 3: 可比公司估值(PE,截至 2022/6/16 收盘股价) . 36 更多投研资料 公众号:mtachn 请务必阅读正文之后的免责声明部分
23、请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所东吴证券研究所 公司深度研究 5 / 38 1. 国产国产 CMP 设备设备龙头,业绩持续高速增长龙头,业绩持续高速增长 1.1. 12 英寸英寸 CMP 设备设备唯一国产供应商唯一国产供应商,供货,供货主流半导体客户主流半导体客户 华海清科成立于华海清科成立于 2013 年,主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售及技年,主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务,主要产品为化学机械抛光(术服务,主要产品为化学机械抛光(CMP)设备,并提供配套材料及技术服务。)设备,并提供配套材料及技术服务。 公司公司 12 英寸英寸 CMP
24、设备设备成功填补国内空白,打破国际巨头垄断。成功填补国内空白,打破国际巨头垄断。公司核心研发团队先后承担、联合承担两项“国家科技重大专项(02 专项)”及三项国家级重大项目/课题,曾荣获“天津市科学技术奖(技术发明)一等奖”、“中国机械工业科学技术奖(技术发明)特等奖”等荣誉。公司推出国内首台拥有核心自主知识产权的 12 英寸 CMP 设备并实现量产销售, 是国内唯一一家为集成电路制造商提供 12 英寸 CMP 商业机型的高端半导体设备制造商。2022 年公司登陆科创版年公司登陆科创版,借助资本市场开启新征程。借助资本市场开启新征程。 图图1:公司成立公司成立九年来九年来,在,在 CMP 设备
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