真空技术 .ppt
《真空技术 .ppt》由会员分享,可在线阅读,更多相关《真空技术 .ppt(53页珍藏版)》请在文库网上搜索。
1、 真空技术 引言 “真空”这一术语译自拉丁文Vacuo,其意义是虚无。其实真空应理解为气体较稀薄的空间。在指定的空间内,低于一个大气压力的气体状态统称为真空。真空状态下气体稀薄程度称为真空度,通常用压力值表示。 真空技术是基本实验技术之一。自从1643年托里拆利(E. Torricelli)做了著名的有关大气压力实验,发现了真空现象以后,真空技术迅速发展。现在,真空技术已经成为一门独立的前言学科。它的基本内容包括:真空物理、真空的获得、真空的测量和检漏、真空系统的设计和计算等。随着表面科学、空间科学高能粒子加速器、微电子学、薄膜技术、冶金工业以 学等 科技的发展,真空技术在 科学技术 的 。(
2、1)真空的基本特点 在真空 ,气体 子 度低,在 下,真空 以 有气体“ ”的空间。真空 ,气体 子 电粒子的 自 程为:pkT22 其 为 子 ,为压,为气体度,为currency1“常。Torr910 fi下fl 子的 自 程在压为 于50km。电子和子在气体 的 自 程 气体 子 自 程的 5.66 和 1.41 。在”空间, 有 面体 有的真空系统 ,气体 子之间 气体 子 电粒子之间的 以 。 于 ,真空 子之间 低, 子体表面的 低。 面 气体 子 压p的关系为: pMT22105.3 M和T 为气体 子的 子量 :g 和度 :K 。 在 通高真空, , 于fi下的fl气, , 表
3、面 , 子个 子计算,一个“ ”的表面 一 了一个 子 的气体 子:在高真空 , 的 计 “ ”表面 子 的 间 之 。 Torr610scmv 214 /1044 子14105TorrP 1010 Torr1110 高真空 以 一个“子 ”的体表面, 有的间 表面 实验 。这是一 大的技术突破,它导致了 二 年 新兴不明科学 的蓬勃发展。无论在表面结构、表面组 表面能态等基本 面,还是在催化腐蚀等应用 面取得的发展。 高真空的这一特点还为得 纯的 精确掺杂的镀膜 子束外延生晶体创造了必 的条件,这促了半导体器件、大规模集成电路和导 等的发展,也为在实验fi 制备各种纯 品 电子轰击镀膜、等子镀膜、真空剖裂等 了良好的基本技术。(2)真空度的单位与区域划分 真空状态下气体稀薄程度称为真空度,通常用压力值表示。1958年,第一界国际技术会议曾建议采用“托”(orr) 为测量真空度的 。国际 制(SI) 规定压力的 为帕(Pa)。我国采用SI规定。1标准大气压(1atm)1.013105Pa(帕)1orr1/760atm1mmHg1orr133Pa 我国真空区域划 为:粗真空、低真空、高真空、高真空和高真空。
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- 真空技术