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1、国环评证甲字第1907号建设项目环境影响报告表项 目 名 称: 微装基地(一期)项目 建 设 单 位: 合肥芯碁微电子装备有限公司 编制日期:二一八年一月 国家环境保护部建设项目环境影响报告表编制说明建设项目环境影响报告表由具有从事环境评价工作资质的单位编制。1、项目名称指项目立项批复时的名称,应不超过30个字(两个英文字段作一个汉字)。2、建设地点指项目所在地详细地址,公路、铁路应填写起止地点。3、行业类别按国标填写。4、总投资指项目投资总额。5、主要环境保护目标指项目区周围一定范围内集中居民住宅区、学校、医院、保护文物、风景名胜区、水源地和生态敏感点等,应尽可能给出保护目标、性质、规模和距
2、厂界距离等。6、结论与建议给出本项目清洁生产、达标排放和总量控制的分析结论,确定污染防治措施的有效性,说明本项目对环境造成的影响,给出建设项目环境可行性的明确结论。同时提出减少环境影响的其他建议。7、预审意见由行业主管部门填写答复意见,无主管部门项目,可不填。8、审批意见由负责审批该项目的环境保护行政主管部门批复。建设项目基本情况项目名称微装基地(一期)项目建设单位合肥芯碁微电子装备有限公司法人代表程卓联 系 人李彬通讯地址合肥市高新区望江西路800号创新产业园F3栋11楼联系电话13955188009传 真/邮政编码230031建设地点合肥市高新区长宁大道与明珠大道交口西北地块立项审批部门合
3、肥高新技术产业开发区经济贸易局批准文号合高经贸2017742号建设性质新建行业类别及 代 码C3569 其他电子专用设备制造占地面积(平方米)33141绿化面积(平方米)3314总投资(万元)30000环保投资(万元)224环保投资占总投资比例0.75%评价经费(万元)/预期投产日期2020年1月工程内容及规模:一、项目由来集成电路设备是全球制造业中最尖端的技术之一,而光刻技术是集成电路生产工艺水平的核心代表,代表着当今世界微细加工领域的最高水平,其工艺水平直接决定一国集成电路产业的产品质量和生产技术的先进性,进而直接影响到一国的科技发展和国防安全,是国家核心科技竞争力的综合体现。而用于生产集
4、成电路的核心设备,更是几乎100%的依赖进口。合肥芯碁微电子装备有限公司拥有国内自主知识产权的激光直写曝光技术及相关光刻设备的检测设备,通过研制和生产“高端激光成像设备”等集成电路设备,打破国外高端激光直写曝光设备的垄断,填补国内产业的空白。因此,合肥芯碁微电子装备有限公司拟购置由合肥高新股份有限公司在合肥市高新区长宁大道与明珠大道交口西北地块定向开发的生产厂房等建筑建设微装基地(一期)项目。根据中华人民共和国环境保护法、中华人民共和国环境影响评价法及建设项目环境影响评价分类管理名录等法律法规的有关要求,本项目应开展环境影响评价工作。根据建设项目环境影响评价分类管理名录中“二十八、计算机、通信
5、和其他电子设备制造业”中“81 电子真空器件、集成电路、半导体分立器件制造、光电子器件、其他电子器件制造等”,不存在“含前工序的集成电路”,则此项目应编制环境影响报告表。因此,建设单位委托江苏润环环境科技有限公司对该项目进行环境影响评价工作。接受委托后我单位立即组织有关技术人员进行现场踏勘、收集资料。依据国家有关法规文件和环境影响评价技术导则,编制了该项目环境影响报告表,报请环保主管部门审查、审批,以期为项目实施和管理提供参考依据。二、项目概况微装基地(一期)项目是由合肥芯碁微电子装备有限公司投资建设,项目于2017年12月25日取得合肥高新技术产业开发区经济贸易局备案。项目占地33141(4
6、9.7亩),总建筑面积33112,主要建设1栋生产厂房(5F局部4F)、1栋研发楼(4F)、1栋洁净厂房(1F)、2栋标准化厂房(4F),用于激光直写曝光设计及配套检测设备的研制和产业化。项目位于合肥高新技术产业开发区集成电路产业园,东侧为长宁大道,南侧为明珠大道,西侧为空地,北侧为空地。三、工程内容及规模1、产品方案项目主要生产半导体无遮膜光刻设备系列产品、半导体检测设备系列产品、高端PCB专用激光直接成像设备系列产品,产品方案见表1。表1 产品方案表序号产品名称年产量(台)1半导体无遮膜光刻设备系列产品82半导体检测设备系列产品293高端PCB专用激光直接成像设备系列产品6本项目生产过程中
7、所需原辅材料用量详见下表。表2 主要原辅料用量表序号原辅材料名称年用量单位包装方式储存地点最大储存量备注1精密位移平台65台纸箱原料库/机械零部件2工控机258台纸箱原料库/3机身外壳43套木箱原料库/4激光器86台纸箱原料库/光学零部件5DMD投影机172台纸箱原料库/6光机模块43套纸箱原料库/7电控模块43套纸箱原料库/电子零部件8环境控制模块43套纸箱原料库/9机械手11台纸箱原料库/10铜基板20kg纸箱原料库30辅材(固体)11光刻胶50kg瓶装化学品库60辅材(液体)12显影液336kg瓶装化学品库350辅材(液体)13浓硫酸110.4kg瓶装化学品库120辅材(液体)14双氧水
8、62.4kg瓶装化学品库80辅材(液体)15氢氧化钠108kg瓶装化学品库150辅材(固体)16碳酸钠108kg瓶装化学品库150辅材(固体)1795%乙醇88kg瓶装化学品库100辅材(液体)主要原辅材料理化性质如下:光刻胶:光致抗蚀剂,由感光树脂(1040%、增感剂(16%)和溶剂(50%90%)三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。感光树脂经光照后,在曝光区能很快地发生光固化反应,使得这种材料的物理性能,特别是溶解性、亲合性等发生明显变化。经适当的溶剂处理,溶去可溶性部分,得到所需图像。显影液:主要成分为四甲基氢氧化铵(13%)和水(9799%),无色透明液体,有强烈刺激性臭味,溶于水和
9、醇,主要用于电子工业碱性清洗剂。浓硫酸:一种具有高腐蚀性的强矿物酸。浓硫酸具有强氧化性,可以作为芯片前处理清洗剂。双氧水:无色透明液体,是一种强氧化剂,在一般情况下会分解成水和氧气,但分解速度极其慢。氢氧化钠:一种具有强腐蚀性的强碱,一般为片状或颗粒形态,易溶于水(溶于水时放热)并形成碱性溶液,氢氧化钠在水处理中可作为碱性清洗剂,溶于乙醇和甘油;不溶于丙醇、乙醚。在高温下对碳钠也有腐蚀作用。碳酸钠:一种重要的有机化工原料,广泛用于生活洗涤、酸类中和以及食品加工等,本项目中做为显影剂。无水乙醇:俗称酒精,它在常温、常压下是一种易燃、易挥发的无色透明液体。具有特殊的、令人愉快的香味,并略带刺激性。
10、可以用来擦洗精密仪器仪表,以及家用电器等不能见水的部件。2、建设内容及规模项目主要建设内容为厂房、研发楼、洁净厂房和标准化厂房,总建筑面积33112m2,项目建设内容详见表3。表3 项目组成一览表类别单项工程名称工程内容和工程规模主体工程1#生产厂房(5F局部4F)一层功能:成品仓储及包装区;二层功能:数字化工厂管控中心、产学研基地;三层功能:电子装配及实验室;四层五层功能:生产辅助功能区等;建筑面积8526m2。2#研发楼(4F)一层功能:餐厅、多功能区;二层功能:电子研究办公区;三层功能:光学研究办公区;四层功能:软件研究办公区;主要为电子、光学和软件等物理性研究内容,不涉及化学生物等研发
11、;建筑面积3977m2。3#洁净厂房(1F)集成电路高端装备生产制造;布置有机械装配区、整机集成/检验区、电子装配区、大型物料放置区以及机械/光学物料存储仓库等;建筑面积6658m2。4#厂房(4F)一层功能:成品仓储、包装、物流区;二层功能:零部件离线装调测试区;三层功能:子系统生产和集成区;四层功能:检验检测区;建筑面积7146m2。5#厂房(4F)一层功能:机械加工中心;二层功能:半成品区;三层功能:零部件集成区;四层功能:零部件集成区;建筑面积6805m2。辅助工程餐厅、多功能区位于2#研发楼一层,食堂就餐规模500人;建筑面积920m2。办公室、会议室位于2#研发楼24层;建筑面积3
12、057m2。储运工程原料仓库位于3#洁净厂房,布置有大型物料放置区和机械/光学物料存储仓库等;建筑面积561m2。成品仓库分别位于1#厂房一层和4#厂房一层;建筑面积3540m2。化学品库位于3#洁净厂房库房;建筑面积37.4m2。公用工程供水项目供水分别由明珠大道和长宁大道市政供水管网供给。排水项目采取雨、污分流制;雨水排入长宁大道市政雨水管网;办公生活污水、餐饮废水和清洗废水分别经化粪池、油水分离器和中和调节池预处理后,满足合肥市西部组团污水处理厂接管标准后,经合肥市西部组团污水处理厂处理达标后排入派河。供电项目用电由合肥市高新技术产业开发区市政电网引入项目区配电房,配电房位于4#厂房一层
13、。制热、制冷项目区办公和会议区域设置VRV空调系统。环保工程废水治理餐饮废水和生活废水分别经油水分离器和化粪池预处理后与清洗废水经中和调节池预处理后,满足合肥市西部组团污水处理厂接管标准后,经合肥市西部组团污水处理厂处理达标后排入派河。废气治理无生产工艺废气产生;洁净车间内微量的灰尘颗粒通过车间顶部活性炭除尘系统进行吸附后通过密封管道压送循环风实现车间洁净度要求;食堂油烟通过油烟净化器处理后达标排放。噪声治理选用低噪声、高性能设备、减振、厂房隔声、厂区绿化等。固废治理职工办公生活垃圾、餐饮垃圾、废油脂、化粪池污泥等分类收集后,由环卫部门统一收集处置;废包装材料、废铜基板和不合格元器件、废活性炭
14、分别由物资回收公司和生产厂家进行回收处置;不合格产品分别由建设单位和资质单位进行处置;生产车间产生的化学试剂空瓶、清洗废液、废显影液、废光刻胶等暂存危废暂存间,定期交由资质单位收集处置。绿化主要设置高大乔木、灌木和花草,绿化面积3314m2。四、设备清单项目生产设备清单详见下表。表4 设备组成一览表序号仪器名称型号单位数量1激光共聚焦显微镜Olympus OLS4000台12扫描电镜日立 S-4300台13主动隔震系统明立精机MAPS-130台14显影机宇宙15DLD10DNAA01台25显微镜品牌:Olympus,型号MX61台66功率计品牌:OPHIR,型号:NOVA II 台227示波器
15、品牌:Tektronix,型号:DPO 2022B台208示波器泰克:MSO4104台19数字锁相放大器斯坦福 SR850台910交流和直流电流源keithley 6221台1611逻辑分析仪安捷伦 16806A台412冰箱盛雪 SX-YPG1M525台213热板labtech EH20B台414匀胶机佳图 smart coater 200台215压膜机志圣CSL-N25R台216大口径激光干涉仪ZYGO VeriFire XP/D台117双频激光干涉仪Rainshow XL系列台1183D表面轮廓仪NewView 7100台119激光环境粒子测试仪MetOne 3411台120三坐标测量仪三
16、丰 STRATO 1630台321投影仪三丰 PV-5110台222震动测试仪明立精机 HM4-02台123气浮隔震系统仓储化工PST-306台424高精度测温仪福禄克 1586A台225微压差检测仪JCYB2000A台126静电放电发生器远方 EMS61000-2A台227静电测试仪EFM-022台228FPGA V6 开发平台XILINX ML605台429FPGA V7 开发平台XILINX VC709台330双通道动态信号分析仪斯坦福仪器(SR785)台231函数/任意波形发生器安捷伦 33250A台1032电子自准直仪TriAngle台433透镜偏心检测仪器OptiCentric台2
17、34角度测量PrismMaster台935光学实验平台连胜ZDT-B台936Registration检测Leica I-PRO II台237CD-SEMZeiss SUPRA40台238体视显微镜olympus SZX16台539精密光学实验平台Abg10000台140光谱仪Maya 2000-Pro台141积分球CSLMS Medium台442光学镜头传递函数测试仪TRIOPTICS ImageMaster台143基于Shark-Hartmann波前探测技术的多功能测试系统SpotOptics Optino台144紫外可见分光光度计岛津 UV-3600台345透镜和光学系统光学参数通用测量系
18、统TRIOPTICS OptiSpheric台1五、主要经济技术指标表5 主要经济技术指标序号项目单位数值1建设用地面积331412总建筑面积331123地上总建筑面积331124计容建筑面积397705其中厂房29135研发楼39776总占地面积133937其中研发配套1033工业生产123608建筑密度%40.49建筑系数%45.010容积率%1.2011绿地率%1012机动车停车泊位辆15813其中大型停车位辆5小型停车位辆15314非机动车停车位辆352六、地理位置及总平面布置(1)厂区周围外环境项目位于合肥市高新技术产业开发区集成电路产业园,东侧为长宁大道,南侧为明珠大道,西侧为空地
19、,北侧为空地。(详见附图一:建设项目地理位置图)。(2)总平面布置图项目整个地块呈四边形,主出入口位于长宁大道,次出入口位于明珠大道。项目区主要建设1#生产厂房(5F局部4F)、2#研发楼(4F)、3#洁净厂房(1F)、4#厂房(4F)和5#厂房(4F)。(详见附图二:建设项目总平面布置图)。七、公用工程(1)供、排水供水:项目用水由合肥市高新技术产业开发区市政给水管网供给,年用水量为15477m3。排水:项目采取雨、污分流制;雨水排入长宁大道市政雨水管网;餐饮废水、生活污水分别经油水分离器、化粪池预处理后和中和调节池预处理后的清洗废水混合后,满足合肥市西部组团污水处理厂接管标准要求后,经市政
20、污水管网入合肥市西部组团污水处理厂处理,达标后排入派河,年废水产生量为11466m3。(2)供电供电:项目用电由合肥市高新技术产业开发区市政电网引入项目区配电房,位于4#厂房一层,年用电量为0.6万kWh。(3)制热、制冷项目办公和会议区域设置VRV空调系统。八、劳动定员及制度工时项目劳动定员为500人,年工作300天,采取二班制,每班7.5小时。九、选址分析(1)产业政策的相符性根据产业结构调整指导目录(2011年本)(2013修正)(中华人民共和国国家发展和改革委员会令第21号)和安徽省工业产业结构调整指导目录(2007年本),本项目不属于其中的鼓励类和限制类项目,因此可视为允许类。本项目
21、符合国家和地方产业政策。(2)规划相符性分析根据合肥高新技术产业开发区分区规划(2007-2020)可知,项目所在地块属于工业用地,符合合肥高新技术产业开发区的用地规划。合肥高新技术产业开发区主要以电子信息、光机电一体化、新材料、生物医药等高科技低污染的产业为支柱产业,且获批建设国家应急产业示范基地、智能语音、集成电路、生物医药集聚发展基地等省级以上新兴产业基地。本项目属集成电路,符合合肥高新技术产业开发区的产业定位,满足合肥高新技术产业开发区规划环评项目环境准入要求。(3) 环境可行性分析以下从环境保护、工程建设条件两方面对本项目选址的可行性进行分析。环境保护要求A、本项目不位于水源保护区、
22、风景区、自然保护区、历史文物古迹保护区、基本农田保护区等环境敏感区内;B、项目所在的区域环境质量现状良好,环境承载力能满足项目建设的需要;C、本项目近距离范围内没有重大污染源;D、项目位于市政污水管网的收水范围内,污水的妥善处理有保障,不会污染周边自然水体。工程建设条件A、项目场地地形起伏不大,没有地质灾害隐患;B、项目拟建地交通便捷,施工建设所需的建筑材料在本地供应充足,建材的供应和运输均可满足需要;C、项目拟建地市政基础设施完善,给排水、供电、电讯等均可满足项目建设需要。(4) 污染物排放可达性分析根据污染源分析,该项目污染来源较为简单,主要是生活污水、食堂废水、清洗废水等;食堂油烟、清洁
23、过程产生的挥发性乙醇、化学试剂挥发废气等;装配产生的机械噪声、公建设施噪声;生活垃圾、餐饮垃圾、化粪池污泥、废包装材料、废显影液、废光刻胶等,只要落实各项污染防治措施,污染物均能达标排放。综上所述,项目符合产业政策及相关规划,无工程建设条件及外环境制约因素,污染物可达标排放。本项目选址合理、建设可行。与本项目有关的原有污染情况及主要环境问题:本项目所在地用地性质为工业用地,根据现场勘查,目前地块为空地,故无原有污染情况及主要环境问题。第 62 页建设项目所在地自然环境简况自然环境简况(地形、地貌、地质、气候、气象、水文、植被、生物多样性等):1、地理位置合肥市为安徽省的省会城市,全市总面积70
24、29.48平方公里。市区总面积838.52平方公里,市区辖瑶海区、庐阳区、蜀山区和包河区四个区,位于安徽省中南部,全境于东经1164011752,北纬31303237。合肥市东邻滁洲,西界六安,南与巢湖市区相望,北依舜耕山与淮南市相连。东端在肥东县元租山,西端在淝西县金桥乡,南端在三河镇杨婆村南,北端在长丰县赵大山。本项目位于合肥市高新区明珠大道和长宁大道西北角。2、地形、地貌、地质合肥市处于江淮丘陵,区域内地形为岗冲起伏交错,垄畈相间的波状平原,总体地形为西北高、东南低、地面高程约在4050m之间,局部起伏较大。地面标高一般在1245米之间,合肥市区高程大致在10.443.4m范围,少许沿河
25、低洼地区在8.410.4m。合肥区域在大地构造上属于郯庐断裂带,区域内经历了多次构造运动,具有极为复杂的地质构造格局,断裂构造较为发育,各类方向断裂层在合肥市附近汇合,具有较大的活动性。郯庐断裂带走向为北、北东方向,从肥东、巢湖之间经过,距合肥市约30km,肥东断裂带东起肥东梁园,经合肥北部至河南固始,走向东西。历史上合肥未发生过较大的地震,工程设计按烈度为七度设防。本项目区地质情况良好,土壤由耕植土、杂填土层、粉质粘土层、粘土等组成,表层为上更新冲积洪粘土,区内地质为为第三纪红砂岩,深埋10-15m,上覆粘土层教厚,地基承载力在2.5-2.8kg/cm2之间,无明显的地下河道,无地质断裂层。
26、3、气候该区地处北亚热带北缘,属于亚热带季风湿润气候,气候特征为四季分明,气候温和,日照充足,雨量适中,无霜期长。年平均气温15.7,年平均降水量为988.4mm。全年主要风向为东风,年平均风速为2.7m/s。4、水文项目所在区域属于巢湖流域,本区域内主要河流为派河和巢湖。派河发源于肥西县中部江淮分水岭周公山,李陵山等丘陵地带,河道自西北向东南流经城西桥、上派、中派、下派入巢湖,全长48.9公里, 流域面积584.6平方公里。河床上游弯窄流急,下游宽直流缓。枯水季节水深1米,主要支流有苦驴河、梳头河、王老堰河、滚子河、古埂河等,多为季节性河流。巢湖是我国五大淡水湖泊之一,属长江下游左岸水系,距
27、合肥市约15km。巢湖流域面积13350km2,其中巢湖闸以上9130km2,多年平均水位为8.31m,平均水深3.06m,水位变化幅度平均为2.5m,水位为7.57.8m时湖泊水域面积约760km2。巢湖沿岸入湖河流有店埠河、派河、十五里河、丰乐河、杭埠河、兆河等33条水系,主要通过裕溪河与长江进行水交流,因建巢湖闸和裕溪河闸,巢湖由原来的过水性河流性湖泊变成了受人工控制的半封闭、封闭式湖泊,其水域的水基本上不与长江水交流。5、地下水合肥市沿湖河平原地下水丰富,丘陵岗地地下水比较贫乏。但在局部地区受特定的岩性、构造、地貌等因素的影响,往往构成较好的含水层。就地下水埋藏条件来说,合肥市地下水主
28、要由上层滞水和潜水、松散岩类孔隙水以及红层裂隙孔隙水三种类型。6、生态环境区域内大部分地区为下蜀系黄土和第四纪堆积物发育的黄棕壤、水稻土,约占全部土地的85%,其次为石灰(岩)土、砂黑土、紫色土。本区域植物区系属北亚热带、温带相互渗透交汇地带,兼具南北方植物区系成份。合肥市现有植物20科,1900种,森林覆盖率约8%。主要植被类型为常绿阔叶林和落叶阔叶林组成的混交林,主要树种有女贞、大叶冬青、苦槠、雪松、黑松、杉木、梓、楝、黄檀、杨、梧桐等。经济林有梨、桃、苹果、核桃等果木和茶叶、油茶、油桐等饮料、油料作物。评价区域内野生动物资源相对较少,主要有黄鼠狼、狐狸、獾、刺猬等。 环境质量状况建设项目
29、所在地区域环境质量现状及主要环境问题(环境空气、地表水、声环境等):本项目选址位于合肥市高新技术产业开发区明珠大道与长宁大道交口西北侧。该项目与济人医药集团现代中药研究院基地一期项目距离为1000m左右,大气环境质量现状引用其环境现状监测数据;地表水环境质量现状引用合肥世祥电器有限公司新增涂装生产线项目环境影响报告书中监测数据。1、 大气环境质量现状监测点位布设:济人医药集团现代中药研究院基地一期项目场地;监测项目:SO2、NO2、PM10、TSP;监测周期和频率:安徽创新检测技术有限公司于2017年5月10日5月16日对区域大气环境进行了监测,连续监测7天;SO2、NO2小时浓度监测每天4次
30、,每次采样时间不少于45min;PM10、SO2、NO2、TSP日均浓度每天连续监测24h。监测结果:根据济人医药集团现代中药研究院基地一期项目监测数据,项目所在区域环境空气质量现状见下表。表6 区域大气污染物浓度值 单位:ug/m污染物PM10TSPSO2NO2小时值/6.7214.59.2821.3环境空气质量标准(GB3095-2012)中二级标准/500200日均浓度范围33.759.668.899.17.9710.712.118.2环境空气质量标准(GB3095-2012)中二级标准15030015080由上表可知,项目所在区域大气污染物SO2、NO2小时浓度和PM10、SO2、NO
31、2、TSP日均浓度均能满足环境空气质量标准(GB 3095-2012)二级标准浓度限值。2、 地表水质量现状项目纳污地表水体为派河,本项目地表水环境质量现状引用新能源汽车核心部件及智能电网储能系统生产基地项目中委托安徽中望环保节能检测有限公司于2017年12月7日12月8日进行实地监测,连续监测2天,每天断面采集1次混合样,其水质监测结果见下表。表7 地表水水质监测结果 单位:mg/L(pH除外)断面日期pHCODBOD5氨氮西部组团污水处理厂入派河处上游500米2017.12.077.18244.71.062017.12.087.13255.11.10西部组团污水处理厂入派河处下游500米2
32、017.12.077.36275.41.232017.12.087.34285.61.22西部组团污水处理厂入派河处下游1500米2017.12.077.22254.81.142017.12.087.25255.01.12GB3838-2002 IV标准693061.5由上表可知,地表水派河水质能够满足地表水环境质量标准(GB3838-2002)类标准要求,水环境质量较好。3、 声环境质量现状项目区厂界噪声委托安徽创新检测技术有限公司进行监测。监测点位布设:项目区厂界外1m;监测项目:dB(A);监测周期和频率:连续监测2天,昼夜间各1次;根据安徽创新检测技术有限公司提供的监测数据,其噪声监测
33、结果详见下表。表8 区域环境噪声和交通噪声 单位:dB(A)监测点位昼间夜间标准限值12月27日12月28日12月27日12月28日昼间夜间N1厂界东51.350.742.442.36555N2厂界南53.153.643.443.8N3厂界西56.655.446.545.8N4厂界北51.251.244.843.9由上表可知,项目区域环境噪声昼夜间均能满足声环境质量标准(GB3096-2008)中3类区标准要求。主要环境保护目标(列出名单及保护级别)评价范围内无自然保护区、风景名胜区、文物古迹等需要特殊保护的环境敏感对象。总体上不因本项目的实施而改变区域环境现有功能,具体环境保护目标如下:表9
34、 环境保护目标一览表环境要素保护目标名称相对方位距离(m)规模保护级别大气环境长宁家园NE1240约3840人环境空气质量标准(GB 3095-2012)中二级标准中科大高新校区(拟建)NE1500约20000人中科院先进研究院NE1900约2000人合肥加拿大国际学校NE2100约1200人复兴家园NE2300约3840人城西桥家园(在建)W1700约23000人水环境派河小型河流S3800地表水环境质量标准(GB 3838-2002)中IV类标准声环境*/声环境质量标准(GB 3096-2008)中3类标准备注*:项目区域周边200米范围内无环境敏感目标。保护级别:大气环境执行环境空气质量
35、标准(GB 3095-2012)中二级标准;声环境质量执行声环境质量标准(GB3096-2008)中3类标准; 派河水体执行地表水环境质量标准(GB 3838-2002)中IV类标准。评价适用标准环境质量标准1、大气环境质量标准执行环境空气质量标准(GB 3095-2012)中二级标准,乙醇执行前苏联居民区大气中有害物质的最大允许浓度(CH245-71)详解中相关要求,见下表。表10 环境空气质量评价标准 单位:ug/m3项目浓度限值(ug/m3)标准来源年平均24小时平均1小时平均SO260150500环境空气质量标准(GB 3095-2012)中的二级标准NO24080200PM10701
36、50TSP200300乙醇5.0mg/m3(最大一次允许浓度)前苏联居民区大气中有害物质的最大允许浓度(CH245-71)2、地表水派河环境质量执行地表水环境质量标准(GB 3838-2002) IV类水质标准,见下表。表11 地表水环境质量标准 单位:mg/L,PH除外项目IV类水质标准标准来源pH69地表水环境质量标准(GB 3838-2002)COD30BOD56氨氮1.5TP0.3石油类0.53、声环境执行声环境质量标准(GB 3096-2008)3类区标准,见下表。表12 环境噪声标准限值 单位:dB(A)声环境功能区类别时段昼间夜间3类6555污染物排放标准1、废气项目大气污染物排
37、放执行大气污染物综合排放标准(GB16297-1996)二级标准及无组织排放监控浓度限制以及工业企业挥发性有机物排放控制标准(DB12/524-2014)要求。油烟排放执行饮食业油烟排放标准(GB18483-2001)中相关要求。详见下表。表13 大气污染物排放标准限值污染物无组织排放监控浓度限值(mg/m)标准监控点浓度颗粒物周界外浓度最高点1.0GB16297-1996SO20.40NOx0.12VOCs50DB12/524-2014表14 饮食业油烟排放标准(试行)(GB18483-2001)规模小型中型大型最高允许排放浓度(mg/m)2.0净化设施最低去除效率(%)6075852、废水
38、项目区废水排放执行合肥市西部组团污水处理厂接管标准要求;合肥市西部组团污水处理厂出水执行巢湖流域城镇污水处理厂和工业行业主要水污染物排放限值(DB 34/2710-2016),标准中未规定的其他污染物执行城镇污水处理厂污染物排放标准(GB18918-2002)一级A标准及其修改单中要求后排入派河,详见下表。 表15 污水排放执行标准 单位:mg/L污染物名称CODBOD5SSNH3-NTP动植物油石油类污水处理厂接管标准35018025035620DB 34/2710-201650/50.5/GB18918-2002/1010/113、噪声施工期噪声执行建筑施工场界环境噪声排放标准(GB 12
39、523-2011),见下表;营运期噪声执行工业企业厂界环境噪声排放标准(GB 12348-2008)3类标准,见下表。表16 建筑施工场界环境噪声排放标准 单位: Leq dB(A)噪声限值 (dB(A)昼间夜间7055表17工业企业厂界环境噪声排放标准值 等效声级 Leq dB(A)厂界外声环境功能区类别时 段昼 间夜 间3类65554、固废生活垃圾交由环卫部门收集后填埋,可回收固废交由物资回收部门回收,一般固体废弃物贮存及处置执行一般性工业固体废弃物贮存、处置场污染控制标准(GB18599-2001) 及2013年修改单中的有关规定;危险废物贮存及处置执行危险废弃物贮存污染控制标准(GB1
40、8597-2001) 及2013年修改单中的有关规定。总量控制指标本项目废水经分类预处理后,进入合肥市西部组团污水处理厂处理,达标后排入派河。总量COD:0.57t/a,NH3-H:0.06t/a(按巢湖流域城镇污水处理厂和工业行业主要水污染物排放限值(DB 34/2710-2016)标准核定),已纳入合肥市西部组团污水处理厂的总量范围内,本项目不再另外申请。建设项目工程分析工艺流程简述:本项目三种产品分别为半导体无遮膜光刻设备系列产品、半导体检测设备系列产品、高端PCB专用激光直接成像设备系列产品。主要生产工艺为组装和产品测试,生产所需零部件全部外购,在项目区内组装,组装依靠卡槽、螺母、螺钉
41、、接头等部件连接,没有焊接工艺。三种产品的组装工艺相同,仅产品工艺测试时略有不同。其工艺流程图如下:图1 生产工艺流程及产污节点主要工艺流程介绍:(1) 元器件购置:根据市场和生产设备的功能需要,研发人员设计预生产设备所需的软件、光学零部件、机械零部件和电子零部件等软硬件组件的性能和尺寸参数,并通过外购或者委托相关单位通过定制加工的方式进行元器件的选购。此过程会产生不合格元器件(S1)。(2) 装配和组装:依据光学模块、电学模块和机械模块的设计要求进行元器件的装配,并对相关光学和电子元器件表面通过擦拭乙醇对其表面进行清洁处理。然后按照设计要求进行硬件组装,组装过程仅依靠卡槽、螺母、螺钉、接头等部件进行物理性连接。此过程中会产生装配噪声(N)和清洁挥发的乙醇(G)。(3) 调试:根据产品的特性对调试辅材铜基板表面分别进行清洗、涂胶、曝光、显影和去胶,以验证光刻设备的性能。其中清洗是通过酸洗或碱洗的方式去除铜基板表面氧化层、油污及其他污染物等,保证铜基板表面的清洁。涂胶是在清洁的铜基板表面通过匀胶机获得平坦均匀的光刻胶涂层。曝光是使光刻胶与已形成的图形对准后充分感光。显影是利用显影液去除曝光部分或未曝光部分的光刻胶,形成所需要的图形(光刻胶曝光后溶于显影液),显影检查若有缺陷和其他问题,