OFFICE文档插入图片方法和CAD应用技巧ppt课件.ppt
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1、网版的第一片,若擦拭很用力容易出 24#片,若小范围擦拭,仅擦拭部分显示黑斑。 典型EL图片分析 Delighting The Future Addr.:Huangtang Industrial Zone, Jiangyin, Jiangsu, P.R China, P.C. 214407 Tel.:+86 510 86530222 Fax:+86 510 86530828 版权所有 未经许可 请勿传播 3 :1#、2#机的印台纸不干净导致镀膜面被污染也会出现类似的黑斑片,但此 类电池片黑斑处重烧后会变的更暗。 4:电池片过厚也会造成此类EL片。 现象 正偏时,硅片上有丝 状黑色斑纹,出现在
2、晶界处;正面面部分 区域发暗 反偏时,黑丝区域有 星点状亮点 发生原因 制绒黑丝较严重 反偏 正偏 黑丝片 典型EL图片分析 Delighting The Future Addr.:Huangtang Industrial Zone, Jiangyin, Jiangsu, P.R China, P.C. 214407 Tel.:+86 510 86530222 Fax:+86 510 86530828 版权所有 未经许可 请勿传播 不同类型的EL图 镀膜面被划伤或金字塔划伤镀膜上或下面有手印 滴源片 PECVD硅片背面镀上氮 化硅薄膜 网带纹 典型EL图片分析 Delighting The F
3、uture Addr.:Huangtang Industrial Zone, Jiangyin, Jiangsu, P.R China, P.C. 214407 Tel.:+86 510 86530222 Fax:+86 510 86530828 版权所有 未经许可 请勿传播 刻蚀过度:正常刻蚀边缘比较平滑光洁,而刻蚀过多后边沿会有明显 的锯齿波纹 背场漏印 隐 裂 断栅 大面积虚印 典型EL图片分析 Delighting The Future Addr.:Huangtang Industrial Zone, Jiangyin, Jiangsu, P.R China, P.C. 214407
4、Tel.:+86 510 86530222 Fax:+86 510 86530828 版权所有 未经许可 请勿传播 Rsh偏低的EL图 现象 正偏时,无明显异常 反偏时,硅片中间有亮 点 发生原因 硅片薄 扩散方阻较高 烧结炉温度过高 工艺过程中引入杂质 其它多种原因 正偏 反偏 典型EL图片分析 Delighting The Future Addr.:Huangtang Industrial Zone, Jiangyin, Jiangsu, P.R China, P.C. 214407 Tel.:+86 510 86530222 Fax:+86 510 86530828 版权所有 未经许可
5、请勿传播 正偏 反偏 现象 正偏时,可见刻蚀黑 边较窄,或刻蚀黑边 较宽 反偏时,硅片边缘有 线状亮点 电池片实物可见刻蚀 边过窄或过宽 发生原因 刻蚀过刻或欠刻 发生类似边缘在反 置片压边缘发亮有可 能是边缘漏浆。 典型EL图片分析 Delighting The Future Addr.:Huangtang Industrial Zone, Jiangyin, Jiangsu, P.R China, P.C. 214407 Tel.:+86 510 86530222 Fax:+86 510 86530828 版权所有 未经许可 请勿传播 正偏 反偏 现象 正偏时,硅片边缘有 由外向内的裂痕
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