洁净室空气处理过程图.ppt
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1、 七个典型的洁净空气处理系统即空气处理过程七个典型的空气处理系统即空气处理过程 3.1.5.1 净化和空调合一的方案其净化空调机组(AHU)集中设置在空调机房内,全部的送风均在净化空调机组内进行过滤和热、湿处理,然后由庞大的送风管将全部的送风输送到洁净室的吊顶上部,再经过设在洁净室吊顶上的终端高效过滤器或高效过滤器送风口送到洁净室内,来实现洁净室工艺生产所需要的温度、湿度、洁净度和房间的压差,洁净室的回风经回风口、回风管再接回到空调机房的空调机组内与新风混合后重复进行过滤和热、湿处理。 净化和空调合一的方案又可分为全新风方案(直流系统);一次回风方案;一、二次回风方案和(MAU)加(RAU)方
2、案等四种不同的净化空调送风型式。 这些送风方案是当前洁净室特别是非单向流洁净室中应用最广泛的净化空调送风方案。这些送风方案的系统划分明确,风 和温、湿度 调 单一。 当洁净度 别 高、送风 大 , 在 空调机房 大,送、回风管 大 和 空间大,送、回风管 ,送风机的压 高, 大,风 输送 大等 。 ,这些送风方案 用在别的非单向流洁净室的送风, 5 上的单向流洁净室送风 不 经合理。一、AHU全新风的净化空调送风方案(直流系统) 全新风净化空调送风方案是用特的不回风的洁净室的送风方案中。currency1洁净室内工艺生产别为“、fifl等 或工艺过程产生 等 不回风的洁净送风系统中。其 理和湿。 ” 湿(i-d)空调机组(AHU)全新风空气处理方案”湿 二、AHU 一次回风的净化空调送风方案 一次回风的送风方案用在洁净室内的热 或产湿 大, 室内热或湿的送风 大或等净化送风 的 洁净度等 的非单向流洁净室中。 方案的 理和湿currency1” 湿(i-d)空调机组(AHU)一次回风空气处理方案”湿、AHU 一、二次回风的净化空调送风方案 为 、 空气热湿处理过程中的热,在洁净室净化送风 大热、湿的空调送风 ,最 用一、二次回风方案,将二次混合设在系统送风上, 方是最 、最经的送风方案。其 理和湿currency1” 湿(i-d)空调机组(AHU)一、二次回风空气处理方案”湿
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