3D轮廓测量仪VR-5000_Viewer_RM_96M15066_C.pdf
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1、96M15066?VR-H3J?VR-500012345689基本的使用方法测量头的详细设置3D测量拼接测量显示测量结果和3维测量图像观察/深度合成测量尺寸打印校正/检查7附录选项设置重新安装前言本手册针对“VR-5000 观察软件”、“VR-5000 测量功能扩展模块(VR-H3J)”的使用方法、操作步骤、注意事项等进行说明。为了充分运用观察软件、测量功能扩展模块的性能,在使用软件前请务必仔细阅读。并且,请保管好本手册以便随时使用。符号的意思本手册使用以下符号使重点部分一目了然。请务必阅读。一般注意事项 禁止擅自转载本手册的部分或全部内容。 为了进行改良,可能未经通知就对本手册的内容进行修改
2、,敬请谅解。 如果您对本手册的内容有任何疑问或发现内容有误、漏记等问题,请与就近的 KEYENCE 办事处联系。 若有缺页、错页,我们将为您更换。本手册中记载的公司名及产品名是各个公司的注册商标或商标。未遵守此处所载记载事项时,可能导致死亡或重伤的危害。未遵守此处所载记载事项时,可能导致死亡或重伤的危害。未遵守此处所载记载事项时,可能导致中度伤害或轻伤的危害。未遵守此处所载记载事项时,不仅可能导致产品自身受损 (自损) ,还可能导致其他财物受损。提醒注意务必进行的操作等。提醒注意容易出错的操作。显示可加深本文理解的事项及最好事先了解的信息。表示应参照的页码和其他手册的参照页码。196M1506
3、6软件使用许可合同在客户同意下述使用许可合同后,向客户提供“VR-5000 观察软件”、“VR-5000 测量功能扩展模块 (VR-H3J)”。在使用本软件之前,请务必仔细阅读下述使用许可合同条款。开始使用本软件时,视作客户已同意本合同条款,本合同成立。使用许可对于“VR-5000 观察软件”、“VR-5000 测量功能扩展模块(VR-H3J)”(以下称“本软件”) ,客户能够使用的条件是同意下述软件使用许可合同 (以下称“本合同”) 。客户使用或复制本软件的全部或部分内容时,视作客户已同意本合同的全部条款,本合同成立。第 1 条 (授予使用权)1株式会社基恩士 (以下称“本公司”)在客户遵守
4、本合同的条件下,向其授与本软件的非垄断性使用权。本软件采用场地许可的形式。2客户为了使用购买的本公司产品而需要使用本软件时,只要是在同一个法人内使用本软件,就能够无许可数限制地安装本软件。但是,每台产品需要购买1个许可证。第 2 条 (复制限制)客户仅能以备份本软件为目的,复制本软件 1 次。第 3 条 (禁止事项)禁止客户对本软件有如下行为。a.变更或添加本软件的全部或部分功能等的更改行为。但是,由本公司提供的更新程序和添加功能的安装等,本公司明确同意的行为除外。b.反编译或反汇编等为了分析本软件的所有逆向工程行为。c.将本软件以及由本公司提供的软件许可证密钥,向第三方再销售、转让、再分配、
5、授权、租赁、租借等行为。但是,本公司事前同意时除外。第 4 条 (著作权)本软件和本软件手册等的相关著作权,归本公司所有。第 5 条 (免责)对于因为使用本软件,而给客户或者第三方造成的损害,本公司不承担任何责任。第 6 条 (支援)本公司依据本合同,就客户对本软件的疑问事项等,提供技术支持。但是,并不保证通过本公司的技术支持,实现客户的目的。第 7 条 (解除合同)1客户通过毁坏废弃本软件及其复制品等手段,停止使用本软件时,本合同自动解除。2客户违反了本合同中的任何一项条款时,本公司可以单方面解除本合同。此时,客户应该立即向本公司归还本软件和复制品,或者直接废弃。3因为客户违反本合同,给本公
6、司造成损害时,客户应该向本公司赔偿该损失。第 8 条 (依据法令)本合同依据日本国法令。2VR-5000 观察软件与测量功能扩展模块 参考手册使用前可以测量3维表面形状 (高度信息)并制作3D图像。需要创建3D图像可以创建以高度信息为基础,立体表现测量结果的图像。“3D测量”(3-1 页)需要测量指定部分的高度和宽度请使用3D测量。在3D测量结果显示中,能够设置轮廓线,测量指定部分的高度和宽度。“3维测量”(5-6 页)需要将表面的波度、凹凸进行视觉化处理测量后,请使用高度图像确认。能够使用明暗的图像确认整体的波度和凹凸。“手动”(3-10 页)3D测量的概述【铝压铸件盒 (3x) 】 使用前
7、3VR-5000 观察软件与测量功能扩展模块 参考手册可以创建光学观察图像和全焦观察图像 (深度合成) 。需要色彩鲜明地观察纹理度级别较低的样品请使用 HDR(高动态范围)功能。可以细致地呈现较低灰度级的部分。“暂停”(6-3 页)需要在非常不平整的目标物体上整体对焦请使用深度合成功能。可以拍摄整体对焦的图像。“深度合成”(6-6 页)需要测量大小和长度请使用平面测量功能。可以测量样品的尺寸。“测量尺寸”(7-1 页)图像观察的概要【塑料树脂 (40 x) 】【电阻 (40 x) 】【电子线路板 (12x) 】 使用前4VR-5000 观察软件与测量功能扩展模块 参考手册如果使用测量功能扩展模
8、块 (VR-H3J) ,则能够将在观察软件中测量的多个图像拼接成1个图像。即使是1次的观察/测量范围内无法容纳的样品,也可以在广阔区域中进行观察、测量以及3D分析。需要使用电动XY载物台获取大范围的高分辨率图像只要指定想要分析的范围,就可以自动对多张图像执行测量及拼接。需要VR-5200或电动下基座 (VR-S300) 。“拼接测量”(4-1 页)需要使用手动XY载物台获取大范围的高分辨率图像在观察软件中测得用于拼接的多个图像后,执行拼接作业。拼接工作中,还可以自动进行微调。“拼接测量”(4-1 页)图像拼接的概述5VR-5000 观察软件与测量功能扩展模块 参考手册检查包装内容物请在使用前确
9、认包装内容。KEYENCE 非常小心地运送每个包装。如有任何部件遗失或损坏,请与您的KEYENCE 代表联系。标准套件 VR-A1USB 3.0线:3 mVR-5000观察软件/分析软件 (DVD-ROM) 用户手册VR-5000 观察软件与测量功能扩展模块 参考手册(本手册)VR-5000 分析软件 参考手册VR-5000 轮廓合成分析模块 参考手册 仅限购买VR-H3W轮廓模块的用户查阅。 标准软件密码表 检查包装内容物6VR-5000 观察软件与测量功能扩展模块 参考手册可选择软件VR-5000 测量功能扩展模块 VR-H3J. 1在VR-5100上使用自动图像拼接功能时,需要安装电动下
10、基座 (VR-S300) 。7VR-5000 观察软件与测量功能扩展模块 参考手册参考手册的构成123457689?本手册对观察软件的操作进行说明。对启动观察软件,测量表面形状并创建3D图像的操作流程进行说明。调整亮度和对焦 (焦点)等,通过对测量头的操作进行设置,将摄像机图像调节到测量、观察的最佳状态。对使用3D测量,测量表面形状并创建3D图像的操作进行说明。对使用测量功能扩展模块 (VR-H3J) ,自动拼接多个图像的方法进行说明。对切换3D图像(测量结果)显示的操作,以及设置测量线条测量指定部分的高度和宽度的操作进行说明。对使用图像观察,创建光学观察图像和全焦观察图像 (深度合成)的操作
11、进行说明。对在正在观察的图像或已拍摄的静止图像上,测量指定位置的长度和角度的操作,以及进行标尺 (辅助线)显示和输入批注的操作进行说明。对打印3D图像或观察图像的操作进行说明。对为了正确地创建图像而校正由测量环境 (温度等)引起的误差的操作,以及检查控制器运行状况的操作进行说明。对更改管理员密码的操作、设置观察软件的工作环境的操作、以及安装/卸载观察软件等进行说明。1章基本的使用方法2章测量头的详细设置3章3D测量4章拼接测量5章显示测量结果和3维测量6章图像观察/深度合成7章测量尺寸8章打印8章校正/检查附录附录VR-5000 观察软件与测量功能扩展模块 参考手册 8目录软件使用许可合同 .
12、1使用前 .23D测量的概述 .2图像观察的概要 .3图像拼接的概述 .4检查包装内容物 .5参考手册的构成 .7目录 .8第1章基本的使用方法测量表面形状创建3D图像的流程 . 1-2准备 . 1-3启动观察软件 . 1-3测量调节 . 1-4设置测量方法 . 1-5样品的放置方式 . 1-5测量点的定位 . 1-6放大倍率和调节焦点 . 1-6执行/保存测量 . 1-7执行测量 . 1-7确认测量结果 . 1-7保存测量结果 . 1-7退出观察软件 . 1-8画面说明 . 1-9使用外部XY载物台 . 1-10必要的系统配置 . 1-10安装、更新 . 1-10观察软件上的设定 . 1-1
13、1无法使用的功能、可更改的功能 . 1-13第2章测量头的详细设置选择放大倍率 . 2-2调整对焦 (焦点) . 2-3自动调整 (自动对焦) . 2-3使用Z轴载物台上下位置调整按钮调整 . 2-4通过鼠标滚轮调整 . 2-4显示对焦向导并调整 . 2-5摄像机的显示、亮度设置 . 2-6更改摄像机设置 . 2-6调整电动XY载物台的位置 . 2-9通过CONTINUE模式移动 . 2-9通过STEP模式移动 . 2-10通过载物台视图移动 . 2-11通过鼠标操作移动 . 2-11目录 9VR-5000 观察软件与测量功能扩展模块 参考手册第3章3D测量样品和测量模式的选择 . 3-2操作
14、模式 . 3-2测量模式 . 3-2使用全自动制作3D图像的流程 . 3-3全自动 . 3-4第1步:切换到全自动 . 3-4第2步:测量点的定位 . 3-4第3步:放大倍率和调节焦点 . 3-4第4步:执行测量 . 3-5使用超精细 (粗糙度)制作3D图像的流程 . 3-6超精细 (粗糙度) . 3-7第1步:切换至超精细 (粗糙度) . 3-7第2步:测量点的定位 . 3-7第3步:放大倍率和调节焦点 . 3-7第4步:执行测量 . 3-8手动制作3D图像的流程 . 3-9手动 . 3-10第1步:切换到手动 . 3-10第2步:测量点的定位 . 3-10第3步:Z测量范围的设置 . 3-
15、10第4步:测量模式的设置 . 3-10第5步:放大倍率和调节焦点 . 3-11第6步:设置测量方向 . 3-11第7步:设置HDR功能 . 3-13第8步:测量 . 3-15连续测量的流程 . 3-17连续测量 . 3-18测量前的设置 . 3-18切换至连续测量 . 3-18第1步:选择定位图像的注册方法 . 3-18第2步:测量样品 . 3-20恢复测量条件 . 3-21恢复测量条件 . 3-22第4章拼接测量拼接测量是指 . 4-2能够用电动XY载物台拼接的图像张数 . 4-2图像拼接的顺序 . 4-3测量表面形状并制作较广范围的高分辨率图像的流程 . 4-4设置测量方法 . 4-6测
16、量前的设置 . 4-6指定区域 . 4-6创建位置图像 . 4-7目录 10VR-5000 观察软件与测量功能扩展模块 参考手册创建位置图像 . 4-7编辑位置图像 . 4-8删除位置图像 . 4-9与载物台视图相关的操作 . 4-9指定拼接区域 (电动XY载物台) . 4-10指定拼接区域 . 4-10简易指定拼接区域 . 4-12指定排除区域 . 4-13确定拼接区域 . 4-13执行/保存测量 (电动XY载物台) . 4-14执行测量 . 4-14重新测量 . 4-14在手动XY载物台进行拼接测量 . 4-16执行第1张的测量 . 4-16执行第2张以后的测量 . 4-16利用等距设置进
17、行测量的流程 . 4-19利用等距设置进行测量 . 4-20测量前的设置 . 4-20指定区域 . 4-20设置拼接区域 . 4-21设置指定区域 . 4-22测量样品 . 4-23第5章显示测量结果和3维测量显示测量结果 . 5-23D显示设置 . 5-23D 图像的操作 . 5-43维测量 . 5-63维测量中所使用的设置和调整 . 5-7测量结果显示中使用的设置和调整 . 5-9设置高度显示 . 5-9保存测量结果 . 5-10另存为对话框 . 5-10切换到分析软件 . 5-12目录 11VR-5000 观察软件与测量功能扩展模块 参考手册第6章图像观察/深度合成创建光学观察图像的流程
18、 . 6-2图像观察 . 6-3切换至图像观察 . 6-3暂停 . 6-3摄影 (保存) . 6-4创建全焦观察图像 (深度合成)的流程 . 6-5深度合成 . 6-6切换至深度合成 . 6-6开始深度合成 . 6-6第7章测量尺寸打开文件 . 7-2打开对话框 . 7-2平面测量 . 7-3平面测量的步骤 . 7-3辅助工具 . 7-5测量工具 . 7-10移动和校正测量点 . 7-15标尺 (辅助线) . 7-16显示设置 . 7-17批注 (文本/图形) . 7-18添加批注的步骤 . 7-18输入常规批注 . 7-18显示常时批注 . 7-21设置批注的显示方法 . 7-21移动及删除
19、批注 . 7-23测量尺寸时使用的便捷功能 . 7-24更改显示放大倍率 . 7-24摄影 (保存) . 7-24第8章打印页面设置 . 8-2打印预览 . 8-3打印 . 8-4目录 12VR-5000 观察软件与测量功能扩展模块 参考手册第9章校正/检查调节测量头 . 9-2调整Z载物台 . 9-2调整电动XY载物台 . 9-4运行确认 . 9-6测量宽度20次 . 9-6测量高度20次 . 9-7校正 . 9-9调节长度 (XY校准) . 9-9调节高度 (Z校准) . 9-10测量头的初始化 . 9-12显示校正日期和时间 . 9-12附录更改管理员密码 .附-2确认版本信息 .附-3
20、设置数值的显示单位及小数点后的位数 .附-4设置自动对焦目标区域的大小 .附-5设置3D测量的工作环境 .附-6设置实线滤镜 .附-6设置自动保存 .附-6设置自动启动分析软件 .附-8拼接数据的抽出设置 .附-8设置观察图像时自动保存拍摄图像 .附-9切换显示语言 .附-10观察软件的管理功能 .附-11许可证 .附-11设置启动密码 .附-12在确认为故障之前的应对措施 .附-13观察软件 错误信息 .附-13安装/卸载 .附-15工作环境 .附-15安装 .附-16卸载 .附-18索引 .附-20VR-5000 观察软件与测量功能扩展模块 参考手册1-1基本的使用方法11章基本的使用方法
21、本节以使用全自动模式测量表面形状并制作3D图像的操作为例,阐述基本的使用方法。测量表面形状创建3D图像的流程 .1-2 页准备 .1-3 页设置测量方法 .1-5 页执行/保存测量 .1-7 页画面说明 .1-9 页使用外部XY载物台 .1-10 页基本的使用方法11-2VR-5000 观察软件与测量功能扩展模块 参考手册测量表面形状创建3D图像的流程启动观察软件。“启动观察软件”(1-3 页)3D测量时矫正来自左右两侧的测量偏差。“测量调节”(1-4 页)将样品放在载物台上。VR-5000 用户手册准备测量调节启动观察软件确定测量表面形状的位置。“测量点的定位”(1-6 页)进行调整,使样品
22、的图像能够清晰地反映到观察窗口。“放大倍率和调节焦点”(1-6 页)设置测量方法测量点的定位放大倍率和调节焦点拍摄纹理图像,测量表面形状。“执行测量”(1-7 页)确认3D测量结果。“确认测量结果”(1-7 页)保存3D测量结果。“保存测量结果”(1-7 页)测量完成后,退出观察软件。“退出观察软件”(1-8 页)执行/保存测量执行测量确认测量结果退出观察软件保存测量结果将样品放在载物台上1-3VR-5000 观察软件与测量功能扩展模块 参考手册基本的使用方法1准备在VR-5000系列软件的快速启动栏里启动观察软件。1双击桌面上的 VR-5000系列程序 图标, 或在Windows的状态栏中依
23、次点击 开始按钮 KEYENCE VR-5000 VR-5000系列程序 。启动VR-5000系列软件的快速启动栏。2点击 测量按钮。切换为观察软件,显示移至电动XY载物台和Z载物台的原点、电动XY载物台的原点或Z载物台的原点的确认信息。3移动到原点时,点击 是按钮。启动观察软件从测量头的电源ON后开始,到USB电缆连接的控制用PC能够进行通讯时为止, 约需要30秒钟。 启动观察软件时,当Z轴载物台位于最下方时执行Z轴载物台的原点搜索。 如果没有安装电动下基座 (VR-S300),在VR-5100上会只显示Z轴载物台的确认信息。由于样品可能会接触到镜头,因此请勿将样品放置在Z轴载物台的上面或下
24、面。 准备1-4VR-5000 观察软件与测量功能扩展模块 参考手册基本的使用方法13D测量通过分别从左右两侧进行测量,制作3D图像。因此,如果从左右两侧进行测量的结果出现偏差,则将无法正确测量。测量调节就是在3D测量时矫正左右两侧测量偏差的功能。1点击 测量调整按钮。转换到测量调节模式, 显示移动到Z轴载物台的原点 (上下位置的原点)的确认信息。2将Z轴载物台移动到原点时,点击 是按钮。3确认载物台平板上没有放置任何物体,进行对焦,确保投影到载物台平板上的十字线的垂线(2 根) 相互重叠。“调整对焦 (焦点)”(2-3 页)4点击 执行按钮。开始进行测量调节。结束测量调节后,显示确认画面。5
25、点击 确定按钮。测量调节请在接通电源并经过60分钟的预热时间后执行测量调节。1-5VR-5000 观察软件与测量功能扩展模块 参考手册基本的使用方法1设置测量方法测量用照明从载物台的左右,以35度的入射角投射光线。将样品放置在载物台上时,小心调整样品的朝向并确保想要测量的部分不会在测量用照明下产生阴影。 正确方向当想要测量的部分存当着沟槽或壁面,测量此类样品时,注意样品的放置方向,确保不会当测量用照明下产生阴影。 出现阴影的放置方式如果有沟槽边缘和壁面这样的构造,则会产生阴影,所以无法正确地进行测量。样品的放置方式35度测量用照明测量用照明成为阴影的部位测量用照明测量用照明 设置测量方法1-6
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