团体标准《六氯乙硅烷中组分含量的测定 气相色谱法》(讨论稿).docx.docx
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1、ICS 77.040H17 T/CNIA团 体 标 准T/CNIA XXXX-XXXX六氯乙硅烷中组分含量的测定 气相色谱法Determination of component content of Hexachlorodisilane by Gas Chromatography (征求意见稿)XXXX- XX-XX 发布 XXXX- XX-XX 实施中 国 有 色 金 属 工 业 协 会中 国 有 色 金 属 学 会发布T/CNIA XXXX-XXXXI前 言本标准按 GB/T 1.1-2009 给出的规则起草。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2
2、)提出并归口。本标准起草单位:洛阳中硅高科技有限公司本标准主要起草人:T/CNIA XXXX-XXXX1六氯乙硅烷中组分含量的测定 气相色谱法1 范围本标准规定了六氯乙硅烷中组分含量的测定方法。本标准适用于六氯乙硅烷中组分含量的测定。测定范围为:0.001%-100%。2 规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T 3634.2 纯氢、高纯氢和超纯氢GB/T 6678 化工产品采样总则GB/T 6680 液体化工产品采样通则GB/T 9722 化学试剂 气相
3、色谱法通则3 方法原理采用气相色谱仪,在规定的条件下将适量的试样注入配有热导检测器(TCD)的气相色谱仪中,六氯乙硅烷中各组分被色谱柱有效地分离,通过面积归一化法计算各组分的含量。4 试剂和材料4.1 载气:氢气,纯度不小于 99.999 %,需用硅胶和分子筛干燥净化;4.2 驱动气:氮气或空气;4.3 尾气吸收溶液:20 g/L 的氢氧化钠溶液或其他等效材料。5 仪器和设备5.1 气相色谱仪:配备热导池检测器(TCD),整机的稳定性和灵敏度应符合 GB/T 9722 的要求;5.2 氢气发生器;5.3 色谱工作站或数据处理机;T/CNIA XXXX-XXXX25.4 色谱柱:100 %二甲基
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